Соотношения подобия (скейлинги) для пространственных распределений параметров плазмы положительного столба разряда в кислороде
Богданов Е.А., Кудрявцев А.А., Цендин Л.Д., Арсланбеков Р.Р., Колобов В.И., Кудрявцев В.В.1
1CFD-Canada, 45 English Ivyway, Toronto, Canada
Email: akud@ak2138.spb.edu
Поступила в редакцию: 4 марта 2003 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2003 г.
С помощью коммерческого CFDRC software (http: //www.cfdrc.com/cfdplasma), позволяющего проводить симуляции в произвольной 3D-геометрии с использованием fluid-уравнений для тяжелых компонентов, и решения кинетического уравнения для электронов проведено полномасштабное самосогласованное моделирование плазмы положительного столба разряда постоянного тока в кислороде. Рассмотрены основные закономерности (скейлинги), которым подчиняются пространственные распределения заряженных частиц. Так как в разных областях значений параметров доминируют разные физические процессы, скейлинги эти сильно различаются. При низких давлениях во внутренней области выполняется условие больцмановского распределения не только электронов, но и отрицательных ионов, что приводит к формированию там плоского профиля электронов и параболического - ионов. В балансе ионов главную роль играют процессы переноса, поэтому учет возможного их нагрева в поле драматически влияет на пространственное распределение заряженных частиц. При повышении давления в балансе отрицательных ионов доминируют объемные процессы и профили концентраций во внутренней области становятся подобными.
- Lieberman M., Lichtenberg A. // Principles of Plasma Discharges and Materials Processing. New York: Wiley, 1994
- Oskam H.J. // Philips Res. Rep. 1958. Vol. 13. P. 335
- Konjukov M.V. // ЖЭТФ. 1958. Т. 34. С. 908--911, 1634--1635
- Tompson J.B. // Proc. Phys. Soc. 1959. Vol. 73. P. 818
- Sabadil H. // Beitr. Plasmaphys. 1973. Vol. 13. P. 235--251
- Месси Г. Отрицательные ионы. М.: Мир, 1979. 754 с. Massey H. // Negative Ions. Cambridge: University Press, 1976
- Edgeley P.D., von Engel A. // Proc. Roy. Soc. 1980. Vol. A370. P. 375--387
- Rogoff G.L. // J. Phys. D. 1985. Vol. 1985. Vol. 18. P. 1533--1545
- Phelps A.V. // J. Res. Natl. Ins. Stand. Technol. 1990. Vol. 95. N 4. P. 407--431
- Цендин Л.Д. // ЖТФ. 1985. Т. 55. Вып. 12. С. 2318--2322. Там же. 1989. Т. 59. Вып. 1. С. 21--28. Tsendin L.D. // Sov. Phys. Techn. Phys. 1985. Vol. 30. P. 1377--1379. Ibid. 1989. Vol. 34. P. 11--15
- Ferreira C.M., Gousset G., Touzeau M. // J. Phys. D. 1988. Vol. 21. N 3. P. 1403--1423
- Daniels P.R., Franklin R.N., Snell J. // J. Phys. D. 1989. Vol. 22. P. 780--785. Ibid. 1990. Vol. 23. P. 823--831. Ibid. 1993. Vol. 26. P. 1636--1649
- Lichtenberg A.J., Vahedi V., Lieberman M.A., Rognlien T. // J. Appl. Phys. 1994. Vol. 75. P. 2339--2347
- Lichtenberg A.J., Kouznetsov I.G., Lee T.D., Lieberman M.A., Kadanovich I.D., Tsendin L.D. // Plasma Sources Sci. Technol. 1997. Vol. 6. P. 437--449
- Kouznetsov I.G., Lichtenberg A.J., Lieberman M.A. // J. Appl. Phys. 1999. Vol. 86. P. 4142--4153
- Franklin R.N. // PSST. 2002. Vol. 11. P. 31--37
- Franklin R.N., Snell J. // J. Phys. D. 1999. Vol. 32. P. 2190--2203
- Franklin R.N. // J. Plasma Phys. 2000. Vol. 64. P. 131--153
- Berezhnoj S.V., Shin C.B., Buddemeier U., Kaganovich I. // Appl. Phys. Lett. 2000. Vol. 77. N 6. P. 800--802
- Feoktistov V.A., Ivanov V.V., Popov A.M., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Slovetsky D.I., Volynets V.N. // J. Phys. D. 1997. Vol. 30. P. 423--431
- Ivanov V.V., Klopovsky K.S., Lopaev D.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V. // IEEE Trans. Plasma Sci. 1999. Vol. 27. P. 1279--1287
- Ivanov V.V., Klopovsky K.S., Lopaev D.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V. // Plasma Phys. Rept. 2000. Vol. 26. N 11. P. 970--990
- Kono A. // Appl. Surface Sci. 2002. Vol. 192. P. 115--134
- Богданов Е.А., Кудрявцев А.А. // Письма в ЖТФ. 2001. Т. 27. Вып. 21. С. 36--42. Bogdanov E.A., Kudryavtsev A.A. // Tech. Phys. Lett. 2001. Vol. 27. N 11. P. 905--907
- Богданов Е.А., Колобов В.И., Кудрявцев А.А., Цендин Л.Д. // ЖТФ. 2002. Т. 72. Вып. 8. С. 13--20. Bogdanov E.A., Kolobov V.I., Kudryavtsev A.A., Tsendin L.D. Technical Physics. 2002. Vol. 47. N 8. P. 946--954
- Rozhansky A.V., Tsendin L.D. // Transport Phenomena in Partially Ionized Plasma. London and New York: Taylor \& Francis. 2001. Рожанский А.В., Цендин Л.Д. Столкновительный перенос в частично-ионизованной плазме. М.: Энергоатомиздат, 1988. 248 с
- Богданов Е.А., Кудрявцев А.А., Цендин Л.Д., Арсланбеков Р.Р., Колобов В.И., Кудрявцев В. // ЖТФ. 2003. Т. 73. Вып. 8. С. 45--55
- http://www.cfdrc.com/cfdplasma
- Мак-Даниэль И., Мэзон Э. Подвижность и диффузия ионов в газах. М.: Мир, 1976. McDaniel E.W., Mason E. The Mobility and Diffusion of Ions in Gases. New York; London; Sydney; Toronto: Wiley \& Sons, 1973
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
