Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Расчет профиля выработки катода для магнетронных систем ионного распыления
1Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия 
Email: alex-rogov@yandex.ru
Поступила в редакцию: 2 октября 2002 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2003 г.
Предложен метод расчета параметров области выработки катода для планарных магнетронных систем ионного распыления по среднеинтегральным характеристикам магнитного и электрического полей без детального анализа пространственных характеристик разрядной плазмы. Проведено сравнение с профилями выработки катода для прямоугольной и дисковых планарных систем ионного распыления.
- Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1982
- Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М.: Энергоатомиздат, 1989
- Mayer M., Behrish R., Gowers C., Andrew P., Peacock A.T. // Diagnostic for Experimental Thermonuclear Fusion Reactors 2 / Ed. by Stott et al. New York: Plenum Press, 1998
- Ландау Л.Д., Лившиц Е.М. Теоретическая физика. Т. 1. Механика. М.: Наука, 1988
- Калашников В.К., Ким В. // Физика плазмы. 1991. Т. 17. В. 8. С. 104
- Pekker L., Krasheninnikov S.I. // J. Physics of Plasmas. 2000. Vol. 7. N 1. P. 382--389
- Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1987
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
