Гаврилов С.А., Дзбановский Н.Н., Ильичев Э.А., Минаков П.В., Полторацкий Э.А., Рычков Г.С., Суетин Н.В.1
1Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: polt@niifp.ru
Поступила в редакцию: 20 февраля 2003 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2003 г.
Рассматривается вторичная электронная эмиссия (ВЭЭ) из алмазных пленок, выполненных в виде мембран толщиной 2.5-5 mum. ВЭЭ исследуется в двух режимах: в режиме "на отражение", когда вторичные электроны выходят с поверхности мембраны, на которую падают первичные электроны, и в режиме "на прострел", когда вторичные электроны выходят с поверхности, противоположной поверхности, на которую падают первичные электроны. Оценка коэффициента ВЭЭ производится на основе анализа поведения в твердом веществе электронов с энергией 0.1-30 keV. Показано, что в случае "на отражение" коэффициент ВЭЭ может быть более 100 при энергиях порядка 3 keV, а в случае "на прострел" он не превышает 5 даже при энергиях 30 keV. Для улучшения эмиссионных свойств мембран при работе "на прострел" предложен ряд конструкций, в частности пористые мембраны, которые позволяют получить характеристики, близкие к характеристикам при работе "на отражение". Приведены экспериментальные результаты, согласующиеся с расчетными данными, и описана технология получения алмазных мембран, в том числе и пористых.
- Himpsel F.J., Knapp J.A., Van Vechten J.A. et al. // Phys. Rev. B. 1979. Vol. 20. P. 624
- Rakhimon A.T., Suetin N.V., Soldaton E.S. et al. // J. Vac. Sci. Technol. B. 2000. Vol. 18 (1). January / February. P. 76--81
- Mearini G.T., Krainsky I.L., Dayton J.A. // Surface and Interface Analysis. 1994. Vol. 21. P. 138
- Mearin G.Ti., Krainsky I.L., Dayton J.A. et al. // J. Appl. Phys. Lett. 1995. Vol. 66. N 2. P. 242
- Dzbanovsky N.N., Minakov P.A., Pal A.F. et al. // 3rd IEEE Intern. Vacuum Sources Cond Orlando (Florida), 2000. P. 33
- Эберт Г. Краткий справочник по физике. М., 1963. 552 с
- Эткинс П. Кванты. Справочник концепций. М.: Мир, 1977. 471 с
- Evehart T.E., Hoff P.H. // J. Appl. Phys. 1971. Vol. 42. P. 5837
- Dzbanovsky N.N., Minakov P.A., Pal A.F. et al. // Intern. Topical Meeting on Field Electron Emission from Carbon Materials. Moscow
- Yater J.E.., Shih A., Abrams R.H. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1998. Vol.16 (3). May / June. P. 913--919
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.