Исследование магнетронного разряда постоянного тока методом подвижного сеточного анода
Рогов А.В.1, Бурмакинский И.Ю.1
1Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
Email: alex-rogov@yandex.ru
Поступила в редакцию: 18 сентября 2003 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2004 г.
Предложена методика измерения плотности ионизующей электронной компоненты в магнетронном разряде постоянного тока в области сильных неоднородных магнитных полей на основе анализа экспериментальной зависимости тока разряда от расстояния между анодом и катодом при использовании сеточного анода. На основе методики исследованы параметры магнетронного разряда на технологическом магнетроне с малой зоной локализации разряда над поверхностью катода в рабочем режиме эксплуатации.
- Kelly P.J., Arnell R.D. // J. Vacuum. 2000. Vol. 56. P. 159--172
- Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М.: Энергоатомиздат, 1989
- Чен Ф. Электрические зонды. Диагностика плазмы / Под ред. Р. Хаддлстоуна, С. Леонарда. М.: Мир, 1967
- Sheridan T.E., Goecker M.J., Goree J. // J. Vac. Sci. Technol. 1991. Vol. A 9(3). May/Jun. P. 688--690
- Elakshar F.F., Hassouba M.A., Garamoon A.A. // Fizika. 2000. Vol. A9. N 4. P. 177--186
- Eckstein W., Garcia-Rosales C. et al. Sputtering Data. Max-Planck-Institut fur Plasmaphysik. 1993
- Месси Г., Бархоп Е. Электронные и ионные столкновения. М.: ИЛ, 1958. 604 с. Electronic and Ionic Impact Phenomena / Ed. H.S.W. Massey and Burhop. Oxford: Clarendon Press, 1952
- Арифов У.А. Взаимодействие атомных частиц с поверхностью металла. Ташкент, 1961
- Каминский М. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла. М.: Мир, 1967
- Бурмакинский И.Ю., Рогов А.В. // ЖТФ. 2003. Т. 73. Вып. 10. С. 46--50
- Touzeau M., Prioul M. et al.// Plasma Phys. Control. Fusion. 2000. Vol. 42. P. B323--B339
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
