Кинетика высокочастотного разряда низкого давления с конденсированной фазой
Струнин В.И.1, Ляхов А.А.1, Худайбергенов Г.Ж.1, Шкуркин В.В.1
1Омский государственный университет, Омск, Россия
Email: strunin@omsu.omskreg.ru
Поступила в редакцию: 7 июля 2003 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2004 г.
Получена функция распределения электронов по энергиям для ВЧ плазмы низкого давления с присутствием пылевых частиц. Оценено влияние микроскопических образований на электронейтральность плазмы и на энергетическое распределение электронов.
- Цытович В.Н. // УФН. 1997. Т. 167. С. 57--99
- Piel A., Melzer A. // Plasma Phys. Control. Fusion. 2002. Vol. 44. P. 1--26
- Siefert W. // Thin Solid Films. 1984. Vol. 120. P. 267--274
- McCaughey M., Kushner M. // J. Appl. Phys. 1991. Vol. 69. P. 6952--6960
- Choi S., Kushner M. // IEEE Trans. Plasma Sci. 1994. Vol. 22. P. 138--149
- Boeuf J. // Phys. Rev. 1992. Vol. A46. P. 7910--7922
- Демидов В., Колоколов Н., Кудрявцев А. Зондовые методы исследования низкотемпературной плазмы. М.: Энергоатомиздат, 1996. 238 с
- Wang D., Dong J. // J. Appl. Phys. 1997. Vol. 81. P. 38--42
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук