Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Радиочастотные источники плазмы малой мощности для технологических приложений. III. Геликонные источники плазмы

Вавилин К.В., Рухадзе А.А., Ри М.Х., Плаксин В.Ю.¹

¹Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия Lomonosov Moscow State University, Moscow, Russia

Поступила в редакцию: 10 сентября 2003 г.

Выставление онлайн: 20 мая 2004 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Третья часть статьи посвящена исследованию так называемых геликонных источников плазмы - радиочастотных источников плазмы при наличии внешнего относительно слабого магнитного поля. Вместе с тем магнитное поле является достаточно сильным, чтобы ларморовская частота вращения электронов была много больше резонансной для промышленной частоты (omega=8.52· 10⁷ s^-1). Как и в [1,2], рассмотрены удлиненные цилиндрические источники плазмы в продольном (вдоль оси цилиндра) магнитном поле и плоские дискообразные источники в поперечном (перпендикулярно плоскости диска) магнитном поле. Проводится сравнение результатов с результатами работы [3], полученными без использования геликонного приближения. Исходя из сравнения делается вывод о перспективности использования удлиненных геликонных источников в плазменных технологиях.

Вавилин К.В., Плаксин В.Ю., Ри М.Х., Рухадзе А.А. // ЖТФ. 2004. Т. 74. Вып. 5. С. 44--49
Вавилин К.В., Плаксин В.Ю., Ри М.Х., Рухадзе А.А. // ЖТФ. 2004. Т. 74. Вып. 6. С. 25--28
Alexandrov A.F., Bugrov G.E., Kralkina E.A. et al. // J. Russian Laser Research. 2003. Vol. 24. N 4. P. 301--321
Boswell R.W. // Plasma Phys. Contr. Fussion. 1984. Vol. 26. N 6. P. 1147
Chen F.F. Plasma Phys. Contr. Fussion. 1991. Vol. 33. P. 339. Chen F.F., Chelavier G. // J. Vac. Sci. Technol. 1992. Vol. A10. N 7. P. 1389
Alexandrov A.F. et al. // ICPIG-22. New Jersy (USA), 1995. Proc. Contr. Papers. Vol. 4. P. 153. ICPIG-25. Nagoya (Japan), 2002. Proc. Contr. Papers. Vol. 3. P. 33
Shamray K.P., Alexandrov A.F., Kralkina E.A. et al. // J. de Physique. 1997. Vol. III. N 10. P. Pc-4-365--375
High Density Plasma Sources / Ed. O.A. Popov. New Jersey (USA): Neyes Public., 1995
Воробьев Н.Ф., Рухадзе А.А. // Физика плазмы. 1994. Т. 20. N 4. С. 1065
Александров А.Ф., Бугров Г.Е., Кралькина Е.А. и др. // ЖТФ. 1994. Т. 64. Вып. 1. С. 53
Александров А.Ф., Бугров Г.Е., Кралкина Е.А. и др. // Прикладная физика. 1995. N 1. С. 5

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель