Вышедшие номера
Нелокальные явления в положительном столбе тлеющего разряда среднего давления
Богданов Е.А., Кудрявцев А.А., Цендин Л.Д., Арсланбеков Р.Р., Колобов В.И.1
1CFD Research Corp., 215 Wynn Drive, Huntsville, AL, USA
Поступила в редакцию: 25 декабря 2003 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2004 г.

С помощью коммерческого CFDRC software (http//www.cfdrc.com/~cfdplasma), позволяющего проводить симуляции в произвольной 3D геометрии с использованием уравнения Пуассона для распределения потенциала, fluid уравнений для тяжелых компонентов и решения нелокального кинетического уравнения для электронов проведено самосогласованное моделирование плазмы положительного столба DG-разряда в аргоне при средних давлениях. Показано, что локальное приближение для расчета функции распределения электронов неприменимо не только для низких (pR<1 cm·Torr), но и для сравнительно высоких давлений pR<10 cm·Torr, т. е. практически для всех реально используемых на практике условий диффузного режима горения положительного столба (PC). Использование локального приближения при решении кинетического уравнения для электронов приводит к существенным ошибкам при определении основных параметров PC. Обнаружен парадоксальный эффект смещения максимума профилей скоростей возбуждения от центра разряда к периферии с повышением давления (от низких к промежуточным (1 cm Torr<pR< 10 cm Torr)), связанный с нелокальностью EDF.