Об удалении с поверхности кремния (001) наноостровков германия пирамидальной формы после ионно-лучевого осаждения-распыления нанослоя золота
Стогний А.И., Новицкий Н.Н., Стукалов О.М., Демченко А.И., Хитько В.И.1
1Минский научно-исследовательский институт радиоматериалов, Минск, Белоруссия
Email: stognij@ifttp.bas-net.by
Поступила в редакцию: 13 января 2004 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2004 г.
Экспериментально определены режимы селективного удаления наноостровков германия пирамидальной формы с поверхности кремния (001) методом последовательного ионно-лучевого осаждения-распыления слоя золота наноразмерной толщины, причем при малом изменении размеров крупных наноостровков германия куполообразной формы.
- Леденцов Н.Н., Устинов В.М., Щукин В.А. и др. // Физика и техника полупроводников. 1998. Т. 32. N 4. С. 385--410
- Medeiros-Ribeiro G., Bratkoski A.M., Kamins Th.I. et al. // Science. 1998. Vol. 279. P. 353--355
- Leifeld O., Hartmann R., Muller E. et al. // Nanotechnology. 1999. N 10. P. 122--126
- Стогний А.И., Новицкий Н.Н., Стукалов О.М. // Письма в ЖТФ. 2002. Т. 28. Вып. 1. С. 39--48
- Smentkowski V.S. // Progress in Surf. Sci. 2000. Vol. 64. P. 1--58
- Стогний А.И., Новицкий Н.Н., Тушина С.Д., Калинников С.В. // ЖТФ. 2003. Т. 73. Вып. 6. С. 86--89
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук