Синтезированы нанокристаллические магнитомягкие тонкие пленки с высоким содержанием Ta (10 wt%) с использованием метода реактивного радиочастотного магнетронного распыления и последующего отжига. Показано, что микроструктура и магнитные свойства зависят от величины парциального давления азота при распылении и температуры последующего отжига. При отжиге аморфных пленок фомируются нанокристаллы alpha-Fe, свойства и взаимодействия которых определяют параметры пленок. Так, уменьшение размеров alpha-Fe гранул в пленке до величин, меньших длины ферромагнитного обменного взаимодействия, приводит к резкому улучшению магнитомягких свойств пленок. Установлена роль ионов азота в формировании структуры нанокристаллов alpha-Fe и одноосной магнитной анизотропии Fe-Ta-N пленок. Определены технологические режимы осаждения и термической обработки соединений Fe-Ta-N, при которых синтезируются нанокристаллические тонкие пленки Fe-Ta-N с высокими магнитомягкими характеристиками (B_s=1.6 T, H_c=0.2 Oe и mu₁(1 MGz)=3400).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.