Трехкамерный генератор плазмы с низким выходным давлением на основе стационарного тлеющего разряда для источника отрицательных ионов
Литвинов П.А.1, Батурин В.А.1, Карпенко А.Ю.1, Пустовойтов С.А.1, Еремин С.А.1
1Институт прикладной физики НАН Украины, Сумы, Украина
Email: baturin@ipflab.sumy.ua
Поступила в редакцию: 10 августа 2004 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2005 г.
Приведены результаты экспериментальных исследований стационарного тлеющего разряда на основе двухкамерного инверсного газомагнетрона. Установлено, что исследуемая разрядная система генерирует в третьей (эмиссионной) камере пространственно разделенную на две области плазму (периферийную и приосевую) с существенно различным набором параметров, а также обеспечивает существование перепада давления в различных ее частях. Сделан вывод, что созданный генератор плазмы может быть эффективно использован для получения в непрерывном режиме работы плазмы с нужными для образования отрицательных газовых ионов параметрами. Полученные результаты позволят в дальнейшем оптимизировать конструкцию источника отрицательных ионов.
- Литвинов П.А. // ВАНТ. Сер. Ядерно-физические исследования. 1997. Вып. 4, 5 (31,32). С. 48--50
- Redhead R.A. // Canad. J. Phys. 1958. Vol. 36. P. 225
- Кервалишвили Н.А. // Физика плазмы. 1989. Т. 15. N 2. С. 174--181
- Кагадей В.А., Козырев А.В., Осипов И.В., Проскуровский Д.И. // ЖТФ. 2001. Т. 71. Вып. 3. С. 22--28
- Алексеев Б.В., Котельников В.А. Зондовый метод диагностики плазмы. М.: Энергоатомиздат, 1988. 240 с
- Holmes A.J.T. // Rev. Sci. Instrum. 1982. Vol. 53. N 10. P. 1517--1522
- Lee Y., Gough R.A., Leung K.N., et al. // J. Vac. Sci. Technol. 1998. Vol. B16 (6). November/December. P. 3367--3369
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
