Вышедшие номера
Размерные эффекты статической проводимости в тонких пленках тантала
Новодворский О.А., Храмова О.Д., Венцель К., Барта Й.В.1
1Институт полупроводниковой и микросистемной технологии ТУ Дрезден, Германия
Email: onov@laser.nictl.msk.su
Поступила в редакцию: 23 августа 2004 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2005 г.

Исследован размерный эффект статической проводимости в тонких пленках тантала при импульсном лазерном осаждении в вакууме. Обнаружена осциллирующая зависимость удельного сопротивления от толщины с периодом 5 nm для alpha-Ta и 5.6 nm для beta-Ta, которая трактуется как квантовый размерный эффект в тонких пленках тантала.