Волноводный метод измерения параметров тонких пленок
Хомченко А.В.1, Сотский А.Б.1, Романенко А.А.1, Глазунов Е.В.1, Шульга А.В.1
1Институт прикладной оптики НАН Белоруссии, Могилев, Белоруссия
Email: avkh@mogilev.by
Поступила в редакцию: 27 июля 2004 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2005 г.
Предложен волноводный метод определения коэффициента поглощения, показателя преломления и толщины тонких пленок, основанный на регистрации угловой зависимости энергетического коэффициента отражения светового пучка в схеме призменного устройства связи. Рассмотрено применение метода для исследования характеристик тонкопленочных волноводов, диэлектрических покрытий и металлических пленок.
- Tien P.R., Ulrich R., Martin R.J. // Appl. Phys. Lett. 1969. Vol. 14. N 9. P. 291--294
- Lukosz W., Pliska P. // Opt. Commun. 1995. Vol. 17. P. 1--7
- Ulrich R., Torge R. // Appl. Opt. 1973. Vol. 12. N 12. P. 2901--2908
- Hou T.W., Mogab C.J. // Appl. Optics. 1981. Vol. 20. N 18. P. 3184--3188
- Хомченко А.В., Сотский А.Б., Романенко А.А. и др. // Письма в ЖТФ. 2002. Т. 28. Вып. 11. С. 51--57
- Сотский А.Б., Романенко А.А., Хомченко А.В., Примак И.У. // РиЭ. 19997 Т. 44. N 6. С. 687--695
- Морс Ф.М., Фешбах Г. Методы теоретической физики. М.: ИЛ, 1995. Т. 1. 930 с
- Романенко А.А., Сотский А.Б. // ЖТФ. 1998. Т. 68. Вып. 4. С. 88--95
- Петровский Г.Т., Редько В.П., Хомченко А.В. // ЖТФ. 1984. Т. 54. Вып. 10. С. 2045--2047
- Kersten R.Th. // Vakuum-Technik. 1973. Vol. 23. N 1. P. 16--19
- Monneret S., Huguet-Chantome P., Flory F. // J. Opt. A. 2000. P. 188--195
- Chiang H.-P., Wang Y.-C., Leung P.T. // Thin Solid Films. 2003. Vol. 425. P. 135--138
- Технология тонких пленок. Справочник / Под ред. Майссела. Т. 1
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
