Получение фотонных кристаллов в структурах на основе полупроводников и полимеров с использованием метода наноимпринта
Аракчеева Е.М., Танклевская Е.М., Нестеров С.И., Максимов М.В., Гуревич С.А., Seekamp J., Sotomayor Torres C.M.1
1Department of Electrical and Information Engineering, Institute of Materials Science, University of Wuppertal, Wuppertal, Germany
Email: kathy.quantum@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 4 октября 2004 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2005 г.
Описана технология получения фотонных кристаллов с использованием метода наноимпринта. Для изготовления одномерных и двумерных фотонных кристаллов на основе полиметилметакрилата использовалось непосредственное продавливание полимера штампами Si, полученными методами интерференционной литографии и реактивного ионного травления. Период двумерных фотонных кристаллов, представляющих квадратную решетку отверстий, находился в диапазоне 270-700 nm, диаметр отверстия соответствовал половине периода. Отверстия имели круглую форму с ровными краями. Одномерные фотонные кристаллы на основе GaAs изготавливались путем реактивного ионного травления через маску, сформированную при помощи литографии наноимпринта. Полученные в результате травления GaAs на глубину 1 mum одномерные фотонные кристаллы имели период 800 nm, ширину гребешка 200 nm и очень гладкие и почти вертикальные боковые стенки.
- Kosaka H., Kawashima T., Tomita A. et al. // J. Lightwave Technology. 1999. Vol. 17. P. 2032--2038
- Kosaka H., Kawashima T., Tomita A. et al. // Appl. Phys. Lett. 1999. Vol. 74. P. 1212--1214
- Bayindir M., Ozbay E., Temelkuran B. et al. // Phys. Rev. 2001. Vol. B, 63. P. 81107--1--4(R)
- Chutinan A., Mochizuki M., Imada M. et al. // Apl. Phys. Lett. 2001. Vol. 79. P. 2690--2692
- Rennon S., Klopf F., Reithmaier J.P. et al. // Electronics Letters. 2001. Vol. 37. P. 690--691
- Maximov M.V., Ramushina E.M., Skopina V.I. et al. // Semicond. Sci. Technol. 2002. Vol. 17. P. L69--L71
- Sotomayor Torres C.M., Zankovych S., Seekamp J. et al. // Materials Science and Engineering. 2003. Vol. 23. P. 23--31
- Shul R.J., Pearton S.J. Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques. Berlin: Springer, 2000
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук