Фазовые переходы в системе CNx-Co при изменении температуры роста пленок
Самойленко З.А.1, Пушенко Е.И.1, Ивахненко Н.Н.1, Варюхин В.Н.1, Шемченко Е.И.1
1Донецкий физико-технический институт им. А.А. Галкина НАН Украины, Донецк, Украина
Поступила в редакцию: 8 октября 2004 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2005 г.
Методом рентгеновского дифракционного анализа проведены исследования структуры аморфных CNx-Co пленок, различающихся температурой роста Ts=200-365oC. Обнаружено, что в процессе повышения температуры выше Ts=200oC происходит концентрационный фазовый переход в аморфном состоянии, связанный с изменением доминирующего содержания углерода или кобальта в структуре кластеризованных пленок, а при Ts=365oC - фазовый переход типа беспорядок->порядок, сопровождающийся переходом от аморфного к кристаллическому состоянию.
- Иванов-Омский В.И., Ястребов С.Г., Голубок А.О. и др. // ПЖТФ. 1998. Т. 24. N 20. С. 186--189
- Сморогонская Э.А., Звонарева Т.К., Иванова Е.И. и др. // ФТТ. 2003. Т. 45. Вып. 9. С. 1579--1589
- Hu I., Yang P., Lieber C.M. // Phys. Rev. B. 1998. Vol. 57. N 6. P. 3185--3191
- Li D., Chung Y., Wong M.J. // Appl. Phys. 1993. Vol. 74. P. 219--223
- Sjostrom H., Stafstrom S. // Phys. Rev. Lett. 1994. Vol. 49. N 7. P. 1336--1341
- Окунев В.Д., Самойленко З.А. // ПЖЭТФ. 1986. Т. 43. N 1. С. 24--27
- Бакай А.С. // Поликристаллические аморфные тела. М., Энергоиздат, 1988. 194 с
- Окунев В.Д., Самойленко З.А. // ФТТ. 1989. Т. 13. Вып. 9. С. 257--260
- Окунев В.Д., Самойленко З.А. // ПЖЭТФ. 1991. Т. 53. N 1. С. 42--47
- Кривоглаз М.А. // Электронная структура и электронные свойства металлов и сплавов. М.: Наука, 1988. С. 3--39
- Китайгородский Л.И. // Рентгеноструктурный анализ мелкокристаллических и аморфных тел. М.: Наука, 1952. 588 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук