Вышедшие номера
Фазовые переходы в системе CNx-Co при изменении температуры роста пленок
Самойленко З.А.1, Пушенко Е.И.1, Ивахненко Н.Н.1, Варюхин В.Н.1, Шемченко Е.И.1
1Донецкий физико-технический институт им. А.А. Галкина НАН Украины, Донецк, Украина
Поступила в редакцию: 8 октября 2004 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2005 г.

Методом рентгеновского дифракционного анализа проведены исследования структуры аморфных CNx-Co пленок, различающихся температурой роста Ts=200-365oC. Обнаружено, что в процессе повышения температуры выше Ts=200oC происходит концентрационный фазовый переход в аморфном состоянии, связанный с изменением доминирующего содержания углерода или кобальта в структуре кластеризованных пленок, а при Ts=365oC - фазовый переход типа беспорядок->порядок, сопровождающийся переходом от аморфного к кристаллическому состоянию.