Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2005, выпуск 9 » Статья стр. 126
<<<>>>
Эмиссия электронов в условиях легирования поверхности катода быстрыми частицами рабочего газа
Бохан А.П.1, Бохан П.А.1, Закревский Дм.Э.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: bokhan@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 20 июля 2004 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2005 г.
PDF версия
Исследовано воздействие быстрых заряженных и нейтральных частиц на эмиссионные свойства материалов. Поток быстрых атомов и ионов во многих плазменных устройствах приводит к созданию и автоматическому поддержанию особого состояния приповерхностного слоя катода. Оно возникает вследствие его насыщения на глубину в несколько монослоев атомами рабочего газа. Это изменение разным образом воздействует на различные виды эмиссии. Потенциальная эмиссия, происходящая под действием атомов в метастабильных состояниях и ионов, ослабляется из-за повышения работы выхода. Кинетическая эмиссия, обусловленная воздействием быстрых тяжелых частиц, наоборот, усиливается благодаря увеличению энергетических потерь в модифицированном приповерхностном слое. Фотоэмиссия под действием резонансного излучения значительно возрастает и изменяется ее механизм.
  1. Maric D., Kutasi K., Malovic G. et al. // Eur. Phys. J. D. 2002. Vol. D21. N 1. P. 73--81
  2. Phelps A.V., Pichford L.C., Pedoussat C. et al. // Plasma Sources Sci. Technol. 1999. Vol. 8. N 4. P. B1--B2
  3. Phelps A.V., Petrovic Z.L. // Plasma Sources Sci. Technol. 1999. Vol. 8. N 3. P. R21--R44
  4. Phelps A.V. // Plasma Sources Sci. Technol. 2001. Vol. 10. N 2. P. 329--343
  5. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1987. 590 с
  6. Wilson W.D., Haggmark L.G., Biersack J.P. // Phys. Rev. B. 1977. Vol. 15. N2. P. 2458--2468
  7. Никулин В.К. // ЖТФ. 1971. Т. 41. Вып. 1. С. 41--47
  8. Varga P., Winter H. // Particle Induced Electron Emission II / Ed. G. Hohler. Springer Tracts. Mod. Phys. 1992. Vol. 123. P. 149--215
  9. Devooght J., Dehaes J.-C., Dubus A. et al. // Ibid. 1991. Vol. 122. P. 67--128
  10. Bogaerts A., Gijbels R. // Plasma Sources Sci. Technol. 2002. Vol. 11. N 1. P. 27--36
  11. Donko Z.J. // Appl. Phys. 2000. Vol. 88. N 5. P. 2226--2232
  12. Kutasi K., Donko Z. // J. Phys. D. 2000. Vol. 33. P. 1081--1089
  13. Donko Z. // Phys. Rev. E. 2001. Vol. 64. P. 026401-1--026401-9
  14. Walker W.C., Rustgi O.P., Weissler G.L. // JOSA. 1959. Vol. 49. N 5. P. 471--475
  15. Cairns R.B., Samson J.A.R. // JOAA. 1966. Vol. 56. N 11. P. 1568--1573
  16. Бохан А.П., Бохан П.А. // Письма в ЖТФ. 2001. Т. 27. Вып. 6. С. 7--12
  17. Baragiola R.A., Alonso E.V., Ferron J., Oliva-Florio A. // Surf. Sci. 1979. Vol. 90. P. 240--255
  18. Ткачев А.Н., Яковленко С.И. // Письма в ЖЭТФ. 2003. Т. 77. Вып. 5. С. 264--268
  19. Hartmann P., Matsuo H., Ohtsuka Y. et al. // Jap. J. Appl. Phys. 2003. Vol. 42. P. 3633--3640

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme