О возможности создания термоэлектрических приемников излучения на основе многоэлементных структур пленок высшего силицида марганца
Камилов Т.С.1, Кабилов Д.К.1, Самиев И.С.1, Хуснутдинова Х.Х.1
1Ташкентский государственный авиационный институт, Ташкент, Узбекистан
Email: tdai_kts@mail.ru
Поступила в редакцию: 24 ноября 2004 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2005 г.
Рассмотрена возможность создания термоэлектрических приемников излучения на основе многоэлементных структур из поликристаллических пленок высшего силицида марганца (ВСМ). Разработаны тестовые структуры с различными конфигурациями для изучения электрических и термоэлектрических характеристик поликристаллических пленок ВСМ. Геометрические размеры элементов тестовых структур выбраны в зависимости от размеров зерен поликристаллических пленок ВСМ. Тестовые структуры изготовлены планарной кремниевой технологией. В тестовых структурах измерены вольт-амперные характеристики, постоянная Холла, концентрация носителей заряда, подвижность. Исследованы коэффициент термоэдс (alpha) и электропроводность (sigma) в интервале температур T=77-600 K, где alpha>250 muV / K и электропроводность sigma~20 (Omega·cm)-1. Показано, что с уменьшением поперечного сечения элементов увеличивается коэффициент чувствительности и коэффициент термоэдс.
- Zaitsev V.K. CRC Handbook of Thermoelectrics / Ed. D.M. Rowe. New York; London: CRC Press, 1995. P. 299--309
- Mogilatenko A., Falke M., Teichert S., Schwendler S. et al. // Microelec. Eng. 2002. Vol. 60. Issues 1--2. P. 247--254
- Zhang Q., Takeguchi M., Tanaka M. et al. // J. Crystal Growth. 2002. Vol. 237--239. P. 1956--1960
- Yang J., Chen N.F., Liu Z. et al. // J. Crys. Growth. 2001. Vol. 226. Issue 4. P. 517--520
- Souno Y., Maeda Y., Tatsuoka H., Kuwabara H. // J. Crys. Growth. 2001. Vol. 229. P. 527--531
- Адашева С.И., Абдуллаев И., Вязьмина Е.Л. и др. // Изв. РАН. Серия физ. 1993. Т. 57. N 2. С. 133--135
- Клечковская В.В., Камилов Т.С., Адашева С.И. и др. // Кристаллография. 1994. Т. 39. N 5. С. 894--899
- Камилов Т.С., Хусанов А.Ж., Бахадырханов М. и др. // Письма в ЖТФ. 2002. Т. 28. Вып. 22. С. 11--16
- Камилов Т.С., Кабилов Д.К., Узоков А.А. и др. // Докл. VIII Межгос. семинара. Термоэлектрики и их применение. СПб., 2002. С. 255-259
- Kamilov T.S., Uzokov A.A., Kabilov D.K. et al. // Proc. 22nd Intern. Conf. on Thermoelectrics. France, 2003. IEEE Catalog N 03TH8726. P. 388--390
- Гудкин Т.С., Дашевский З.М., Сгибнев И.В. // Завод. лаб. 1976. Т. 42. N 7. С. 820--821
- Ордин С.В., Камилов Т.С., Кабилов Д.К. и др. // Докл. VIII Межгос. семинара. Термоэлектрики и их применение. СПб., 2002. С. 249--254
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук