Распыление мишени магнетронного диода в присутствии внешнего ионного пучка
Жуков В.В.1, Кривобоков В.П.1, Янин С.Н.1
1Федеральное государственное научное учреждение Научно-исследовательский институт ядерной физики, Томск, Россия
Email: krivobokov@npi.tpu.ru
Поступила в редакцию: 24 мая 2005 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2006 г.
Исследовано воздействие внешнего ионного пучка на плазму и мишень магнетронной распылительной системы на постоянном токе при реактивном осаждении покрытий. Создана экспериментальная установка, объединяющая магнетронный диод и ионный источник с замкнутым дрейфом электронов в единую распылительную систему. Рассмотрено влияние пучка ускоренных ионов на формирование разрядных токов, эмиссионные характеристики мишени и скорость ее травления. Показано, что ионное ассистирование значительно расширяет область рабочих параметров магнетронного диода, увеличивает скорость осаждения покрытия, но при этом не влияет на плотность ионизированных состояний в плазме; также существенно сокращается продолжительность тренировки мишени. PACS: 81.15.Jj
- Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1982. 72 с
- Фоменко В.С. Эмиссионные свойства материалов: Справочник. Киев: Наукова думка, 1970. 148 с
- Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Вып. II. Распыление сплавов и соединений, распыление под действием электронов и нейтронов, рельеф поверхности: Пер. с англ. / Под ред. Р. Бериша. М.: Мир, 1986. 488 с
- Жуков В.В., Кривобоков В.П., Янин С.Н. // Изв. Томского политехнического университета. 2004. Т. 307. N 7. С. 40--45
- Малов В.В. Пьезорезонансные датчики. М.: Энергия, 1978. 248 с
- Kelkar U.M., Gordon M.H., Roe L.A. et al. // J. Vac. Sci. Technol. 1999. A17(1). P. 125--132
- Гвоздев В.В., Курзанов М.А., Марахтанов А.М. // Физика плазмы. 1999. Т. 25. N 5. С. 488--492
- Буренков А.Ф., Комаров Ф.Ф., Кумахов М.А. и др. Пространственное распределение энергии, выделенной в каскаде атомных столкновений в твердых телах. М.: Энергоатомиздат, 1985. 248 с
- Zakharov A.N., Bugaev S.P., Kovsharov N.F. et al. // Proc. of V Int. Congress on Modification of materials with particle beams and plasma flows. Tomsk. 2000. P. 211--213
- Yanin S.N., Zhukov V.V., Krivobokov V.P. et al. // Proc. of VII Int. Conf. on Modification of materials with particle beams and plasma flows. Tomsk. 2004. P. 332--335
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук