Фазовые переходы в системе CNx + TiN при изменении напряжения смещения в процессе ионно-стимулированного роста
Самойленко З.А.1, Пушенко Е.И.1, Ивахненко Н.Н.1, Шкуратов Б.Е.1, Варюхин В.Н.1
1Донецкий физико-технический институт им. А.А. Галкина НАН Украины, Донецк, Украина
Поступила в редакцию: 29 августа 2006 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2007 г.
С помощью рентгеновского дифракционного анализа проведены исследования структуры аморфных пленок CNx+TiN, полученных методом ионно-стимулированной конденсации, различающихся напряжением смещения U=200-500 V. Обнаружено, что в процессе повышения напряжения U=300-360 V в структуре пленок CNx + TiN происходит фазовый переход в разномасштабной аморфной фазе (20-50 Angstrem), связанный с увеличением доминирующего содержания фракции среднеячеистых (4 Angstrem) углеродных кластеров по сравнению с крупно- (8 Angstrem) и мелкоячеистыми (2 Angstrem) кластерами. Показано, что при этом в структуре кристаллических кластеров (80-150 Angstrem) имеет место фазовый переход от предпочтительного развития кластеров карбидной фазы (Ti2C(N)) к кластерам графитовой (Cg) и алмазной (Cd) фаз размером ~ 100 Angstrem. PACS: 61.43. Dq
- Гладкий А.Н., Суздальцев С.Ю., Яфаров Р.К. // ЖТФ. 2000. Т. 70. Вып. 5. С. 133--135
- Одинцов В.В., Пепекин В.И. // ДАН. 1995. Т. 343. N 2. С. 210--213
- Самойленко З.А., Пушенко Е.И., Ивахненко Н.Н. и др. // ЖТФ. 2005. Т. 75. Вып. 8. С. 132--135
- Weilizhang, Xia Y., Ju J. // Solid State Comm. 2003. Vol. 126. P. 163--166
- Hu I., Yang P., Lieber C.M. // Phys. Rev. 1998. Vol. 157. N 6. P. 3185--3191
- Андриевский Р.А. // Усп. химии. 1997. Т. 66. N 1. С. 57--76
- Окунев В.Д., Самойленко З.А.// ФТТ. 1989. Т. 13. Вып. 9. С. 257--260
- Окунев В.Д., Самойленко З.А. // Письма в ЖЭТФ. 1991. Т. 53. N 1. С. 42--47
- David M. // Science. 1996. Vol. 271. P. 53--55
- Китайгородский А.И. Рентгеноструктурный анализ мелкокристаллических и аморфных тел. М.: Наука, 1952. 588 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук