Структура и свойства пленок оксида цинка, полученных в зоне рекомбинационного горения низкотемпературной плазмы
Бурылин Е.И.1, Веселов А.Г.1, Джумалиев А.С.1, Елманов В.И.1, Истомин С.Н.1, Кирясова О.А.1, Пушкарева Т.А.1, Рябушкин С.Л.1
1Саратовский филиал Института радиотехники и электроники РАН, Саратов, Россия
Поступила в редакцию: 27 июля 2006 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2007 г.
Экспериментально исследованы характер структуры и показатель преломления тонких пленок оксида цинка, выращенных в реактивной газоразрядной плазме. Реакция на подложке и рост пленки происходили в условиях полной или частичной ионизации реагентов. Энергия рекомбинации и кинетическая энергия ионов активировали процесс роста. Термический нагрев пленок отсутствовал. Установлено, что при определенных концентрациях рекомбинирующих ионов пленки не подвергаются деструкции, а приобретают новые как структурные, так и электрооптические свойства. При толщине до 1500 Angstrem пленки являются оптически плотными, имеют повышенную механическую и химическую стойкость, измененное межплоскостное расстояние и показатель преломления по сравнению с аналогичными свойствами пленок ZnO, синтез которых активируется термически. PACS: 68.55.-a, 78.66.-w
- Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1982. 72 с
- Технологии тонких пленок: Справочник / Под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга; Пер. с англ. М.: Сов. радио, 1977
- Веселов А.Г., Джумалиев А.С. // ЖТФ. 2000. Т. 70. Вып. 4. С. 209--213
- Бурылин Е.И., Веселов А.Г., Веселов А.А. и др. // Письма в ЖТФ. 2000. Т. 26. Вып. 7. С. 31--34
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук