Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Характеристики цилиндрического магнетрона и реактивное напыление в нем пленок бинарных соединений

Гончаров А.А.¹, Демчишин А.В.¹, Демчишин А.А.¹, Костин Е.Г.¹, Миченко В.А.¹, Стеценко Б.В.¹, Терновой Е.Г.¹, Щуренко А.И.¹

¹Институт физики Национальной академии наук Украины, Киев, Украина Institute of Physics, National Academy of Sciences of Ukraine, Kyiv, Ukraine

Email: stetsen@iop.kiev.ua

Поступила в редакцию: 18 января 2005 г.

Выставление онлайн: 20 июля 2007 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Экспериментально изучены характеристики цилиндрического магнетрона: зависимости напряжения разряда, давления и интенсивности спектров излучения плазмы от скорости натекания реагирующего газа, тока разряда. На этом магнетроне методом реактивного напыления получены пленки нитрида (TiN) и диоксида титана (TiO₂). Изучены спектры пропускания и отражения пленок в видимом диапазоне длин волн. Из данных по пропусканию пленок TiO₂ методом Валеева определены показатели преломления и коэффициенты поглощения в диапазоне длин волн 350-800 mm, а также их пористость. По формуле Урбаха оценено изменение края фундаментального поглощения с толщиной пленки. PACS: 84.40.Fe, 85.40.Sz

Munz W.D., Heimbach J., Reineck S.R. // Thin Solid Films. 1981. Vol. 86. P. 175--181
Wicaksana D., Kobayashi A., Kinbara A. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1992. Vol. 10. N. 4. P. 1479--1482
Tang H., Prasad K., Sanjin\`es R. et al. // J. Appl. Phys. 1994. Vol. 75. N 4. P. 2042--2047
Panachenko O.A., Goncharov A.A., Demchishin A.V. et al. // Problems of Atomic Science and Technology. Plasma Physics. 2005. Vol. 11. N 2. P. 170--172
Владимиров В.В., Горшков В.Н., Мотрич В.А. и др. // ЖТФ. 1994. Т. 64. Вып. 5. С. 91--102
Валеев А.С. // Опт. и спектр. 1963. Т. 15. Вып. 4. С. 500--511.
Воронкова Е.М., Гречушников Б.Н., Дистлер Г.И. и др. Оптические материалы для инфракрасной техники. М.: Наука, 1965. 335 с
Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Статистическая физика. М.: Наука, 1964. 567 с
Harra D.J. // J. Vac. Sci. Technol. 1976. Vol. 13. N 1. P. 471--474.
Gupta A.K., Leck J.H. // Vacuum. 1975. Vol. 25. N 8. P. 362--372
Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1987. 730 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель