Механизм образования нанокристаллов карбида кремния при высокотемпературной карбонизации пористого кремния
Нагорнов Ю.С., Костишко Б.М., Миков С.Н., Атажанов Ш.Р., Золотов А.В., Пчелинцева Е.С.
Поступила в редакцию: 5 декабря 2006 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2007 г.
При помощи рентгеноструктурного анализа, оже-спектроскопии и комбинационного рассеяния показано, что в процессе карбонизации пористого кремния при температуре 1200-1300oC образуются нанокристаллы карбида кремния размером 5-7 nm. Предложенный механизм образования нанокристаллов 3 C-SiC фиксированных размеров включает следующие этапы. Нанокристаллы кремния с d=3-7 nm переходят в жидкую фазу, тем самым эффективно участвуя в росте карбида кремния, по достижении критического размера, определяемого равенством его температуры плавления и окружающей среды, кристалл переходит в твердое состояние, и его рост практически прекращается. В результате образуется гетероструктура нанокристалла Si-SiC-аморфный SiC. PACS: 81.07.-b
- Wautelet M. // J. Physics D: Appl. Phys. 1991. Vol. 24. N 3. P. 343--346
- Wen Z., Zhao M., Jiang Q. // J. Physics C: Condensed Matt. 2000. Vol. 12. N 41. P. 8819--8824
- Yang C.C., Li G., Jiang Q. // J. of Physics C: Condensed Matt. 2003. Vol. 15. N 29. P. 4961--4965
- Валов П.М., Лейман В.И. // Письма в ЖЭТФ. 1997. Т. 66. N 7. С. 481--486
- Wautelet M. // J. of Physics C: Condensed Matt. 2004. Vol. 16. P. 163--166
- Timoshenko V.Yu., Dittrich Th., Sieber I. et al. // Phys. Status. Sol. (a). 2000. Vol. 182. P. 325--330
- Kostishko B.M., Appolonov S.V., Salomatin S.Ya. // Measurement Techniques. 2004. Vol. 47. N 10. P. 1032--1038
- Islamgaliev R.K., Kuzel R., Mikov S.N. et al. // Mat. Sci. \& Eng. 1999. A266. P. 2005--2010
- Richter H., Wang Z.P., Ley L. // Solid State Commun. 1981. Vol. 39. N 5. P. 625--629
- Campbell I.H., Fauchet P.M. // Solid State Commun. 1986. Vol. 58. N 10. P. 739--741
- Hofmann M., Zywietz A., Karch K. et al. // Phys. Rev. B. 1994. Vol. 50. N 18. P. 13 401--13 411
- Решина И.И., Гук Е.Г. // ФТП. 1993. Т. 27. Вып. 5. С. 728--735
- Lowther J.E. // J. Phys. C: Solid State Phys. 1977. Vol. 10. P. 2501--2509
- Иверонова В.И., Ревкевич Г.П. Теория рассеяния рентгеновских лучей. М., 1972. 246 с
- Behren J., Wolkin-Vakrat M., Jorne J., Fauchet P.M. // J. Porous Materials. 2000. Vol. 7. P. 81--84
- Kostishko B.M., Atazhanov Sh.R., Puzov I.P. et al. // Techn. Phys. Lett. 2000. Vol. 26. N 3. P. 199--201
- Kostishko B.M., Atazhanov Sh.R., Mikov S.N. et al. // Techn. Phys. Lett. 1999. Vol. 25. N 3. P. 212--214
- Kostishko B.M., Nagornov Yu.S., Atazhanov Sh.R., Solomatin S.Ya. // Techn. Phys. Lett. 2004. Vol. 30. N 2. P. 88--90
- Baeri P., Spinella C., Reitano R. // Int. J. Thermophysics. 1999. Vol. 20. N 4. P. 1211--1221
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук