Физическое и математическое моделирование процесса плазмохимического гетерогенного синтеза покрытий из плазменных потоков
Барвинок В.А.1, Богданович В.И.1
1Научно-исследовательский институт технологий и проблем качества при Самарском государственном университете им. С.П. Королева, Самара, Россия
Email: barvinok@ssau.ru
Поступила в редакцию: 20 декабря 2006 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2007 г.
Разработана физическая и математическая модель получения соединений переменного состава вакуумным ионно-плазменным методом. Конкретизация модели рассмотрена на основе синтеза покрытий из нитрида титана. Математическая модель учитывает такие основные стадии процесса, как адсорбция, десорбция, диссоциация, хемосорбция, аккомодация, распыление, поверхностная миграция. Она позволяет определить зависимость скорости роста покрытия, степени его стехиометрии и плотности заполнения адсорбционного слоя от основных физических параметров процесса. PACS: 52.77.Dq, 81.15.Aa
- Барвинок В.А., Богданович В.И. Физические основы и математическое моделирование процессов вакуумного ионно-плазменного напыления. М.: Машиностроение, 1999. 309 с
- Барвинок В.А., Богданович В.И. // Физ. хим. об-ки матер. 1986. N 5. С. 92--98
- Богданович В.И. // Проблемы машиностроения и автоматизации. 1999. N 2. С. 35--41
- Аксенов И.И., Брень В.Г., Падалко В.Г. // ЖТФ. 1978. Т. 48. Вып. 6. С. 1164--1169
- Lemperiere G., Poitevin J.M. // Thin Solid Films. 111. 1984. P. 339--349
- Хрущев М.М. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1994. N 3. С. 84--95
- Андреев А.М., Саблев Л.П., Шулаев В.М. и др. Вакуумно-дуговые устройства и покрытия. Харьков: ННЦ ХФТИ, 2005. С. 58--72
- Богданович В.И. // Проблемы машиностроения и автоматизации. 1999. N 1. С. 65--71
- Барвинок В.А., Богданович В.И. // Изв. СНЦ РАН. 1999. N 1. С. 41--49
- Робертс М., Макки Ч. Химия поверхности раздела металл--газ. М.: Мир, 1981. 539 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук