Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2009, выпуск 1 » Статья стр. 125
<<<>>>
Магнетронное распыление Y-Ba-Cu-O мишени: эффекты изменения напряжения разряда и скорости осаждения пленок
Дроздов Ю.Н.1, Мастеров Д.В.1, Павлов С.А.1, Парафин А.Е.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: SVG@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 24 января 2008 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2008 г.
PDF версия
Исследованы временные зависимости напряжения разряда и скорости роста эпитаксиальных пленок Y-Ba-Cu-O в магнетронной напылительной системе on-axis конфигурации. Установлено, что при распылении керамической мишени Y-Ba-Cu-O напряжение разряда и скорость осаждения сверхпроводящей фазы уменьшаются со временем и выходят на "квазистационарный" режим по экспоненциальной зависимости. При давлении 100 Pa уменьшение значения индукции магнитного поля вблизи поверхности мишени с 1200 G до 600 G приводит к увеличению напряжения разряда на 25-30%, а скорость осаждения пленок возрастает более чем в два раза. Полученные пленки имеют высокие электрофизические параметры, что продемонстрировано на примере высокочастотного контура: собственная добротность контура на частоте 64.5 MHa составила 2.7· 105. PACS: 74.78.Bz, 85.40.Sz.
  1. Moritakis E., Anagnostou M., Pissas M. et al. // Supercond. Sci. Technol. 1998. Vol. 11. P. 686
  2. Iavarone M., Andreone A., Orgiani P. et al. // Supercond. Sci. Technol. 2000. Vol. 13. P. 1441
  3. Rao R.A., Gan Q., Eon C.B. et al. // Appl. Phys. Lett. 1996. Vol. 69. N 25. P. 3911
  4. Rossnagel S.M. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1980. Vol. 7. N 3. P. 1025
  5. Scanlan R.M., Malozemoff A.P., Larbalester D.C. // Proc. IEEE. 2004. Vol. 92. N 10. P. 1639
  6. Villard C., Peroz C., Guinand B. et al. // IEEE Trans. on Appl. Supercond. 2005. Vol. 15. N 1. P. 11
  7. "Сверхпроводники для электроэнергетики". Инф. бюлл. 2006. Т. 3. Вып. 3. 10 с
  8. Selinder T.I., Larsson G., Helmersson U. et al. // Appl. Phys. Lett. 1988. Vol. 52. N 22. P. 1907
  9. Kadin A.M., Ballentine P.H., Argana J. et al. // IEEE Trans. on Appl. Supercond. 1989. Vol. 25. N 2. P. 2437
  10. Morita H., Watanabe K., Murakami Y. et al. // J. Appl. Phys. Lett. 1989. Vol. 28. N 4. P. L628
  11. Мастеров Д.В., Павлов С.А., Парафин А.Е. и др. // ЖТФ. 2007. Т. 77. Вып. 10. С. 109
  12. Grishkowsky D., Yu M.L., Balant A.C. // Surf. Sci. 1983. Vol. 127. P. 315
  13. Kroeger D.M., Brynestad J., Padgett A. // Appl. Phys. Lett. 1988. Vol. 52. N 15. P. 1256
  14. Дроздов Ю.Н., Павлов С.А., Парафин А.Е. // Письма в ЖТФ. 1998. Т. 24. Вып. 1. С. 55
  15. Данилин Б.С. // Обзоры по высокотемпературной сверхпроводимости. 1992. Вып. 4(8). С. 101
  16. Знаменский А.Г., Марченко В.А. // ЖТФ. 1998. Т. 68. Вып. 7. С. 24
  17. Cukauskas E.J., Allen L.H., Sherrill G.K. et al. // Appl. Phys. 1993. Vol. 74. N 11. P. 6780

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme