Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Магнетронное распыление Y-Ba-Cu-O мишени: эффекты изменения напряжения разряда и скорости осаждения пленок
Дроздов Ю.Н.1, Мастеров Д.В.1, Павлов С.А.1, Парафин А.Е.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия 
Email: SVG@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 24 января 2008 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2008 г.
Исследованы временные зависимости напряжения разряда и скорости роста эпитаксиальных пленок Y-Ba-Cu-O в магнетронной напылительной системе on-axis конфигурации. Установлено, что при распылении керамической мишени Y-Ba-Cu-O напряжение разряда и скорость осаждения сверхпроводящей фазы уменьшаются со временем и выходят на "квазистационарный" режим по экспоненциальной зависимости. При давлении 100 Pa уменьшение значения индукции магнитного поля вблизи поверхности мишени с 1200 G до 600 G приводит к увеличению напряжения разряда на 25-30%, а скорость осаждения пленок возрастает более чем в два раза. Полученные пленки имеют высокие электрофизические параметры, что продемонстрировано на примере высокочастотного контура: собственная добротность контура на частоте 64.5 MHa составила 2.7· 105. PACS: 74.78.Bz, 85.40.Sz.
- Moritakis E., Anagnostou M., Pissas M. et al. // Supercond. Sci. Technol. 1998. Vol. 11. P. 686
- Iavarone M., Andreone A., Orgiani P. et al. // Supercond. Sci. Technol. 2000. Vol. 13. P. 1441
- Rao R.A., Gan Q., Eon C.B. et al. // Appl. Phys. Lett. 1996. Vol. 69. N 25. P. 3911
- Rossnagel S.M. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1980. Vol. 7. N 3. P. 1025
- Scanlan R.M., Malozemoff A.P., Larbalester D.C. // Proc. IEEE. 2004. Vol. 92. N 10. P. 1639
- Villard C., Peroz C., Guinand B. et al. // IEEE Trans. on Appl. Supercond. 2005. Vol. 15. N 1. P. 11
- "Сверхпроводники для электроэнергетики". Инф. бюлл. 2006. Т. 3. Вып. 3. 10 с
- Selinder T.I., Larsson G., Helmersson U. et al. // Appl. Phys. Lett. 1988. Vol. 52. N 22. P. 1907
- Kadin A.M., Ballentine P.H., Argana J. et al. // IEEE Trans. on Appl. Supercond. 1989. Vol. 25. N 2. P. 2437
- Morita H., Watanabe K., Murakami Y. et al. // J. Appl. Phys. Lett. 1989. Vol. 28. N 4. P. L628
- Мастеров Д.В., Павлов С.А., Парафин А.Е. и др. // ЖТФ. 2007. Т. 77. Вып. 10. С. 109
- Grishkowsky D., Yu M.L., Balant A.C. // Surf. Sci. 1983. Vol. 127. P. 315
- Kroeger D.M., Brynestad J., Padgett A. // Appl. Phys. Lett. 1988. Vol. 52. N 15. P. 1256
- Дроздов Ю.Н., Павлов С.А., Парафин А.Е. // Письма в ЖТФ. 1998. Т. 24. Вып. 1. С. 55
- Данилин Б.С. // Обзоры по высокотемпературной сверхпроводимости. 1992. Вып. 4(8). С. 101
- Знаменский А.Г., Марченко В.А. // ЖТФ. 1998. Т. 68. Вып. 7. С. 24
- Cukauskas E.J., Allen L.H., Sherrill G.K. et al. // Appl. Phys. 1993. Vol. 74. N 11. P. 6780
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
