Аналитическая модель образования и роста наночастиц в плазме SiH4-Ar
Гордиец Б.Ф., Бертран Э.1
1Departamento de Fisica Aplicada i Optica, Barcelona, Spain
Поступила в редакцию: 13 февраля 2008 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2009 г.
Представлена кинетическая модель образования и роста наночастиц в плазмохимическом реакторе низкого давления с радиочастотным емкостным разрядом в смеси SiH4-Ar. Получены аналитические формулы для расчета концентрации мономеров, концентрации и среднего размера наночастиц. Проведено сопоставление с численными расчетами и с экспериментальными данными для наночастиц в плазме SiH4-Ar. PACS: 52.27.Lw
- Dusty Plasma / Ed. by A. Bouchoule. NY: Wiley, 2000. 480 p
- Boufendi L., Plain A., Blondeau J.Ph. et al. // Appl. Phys. Lett. 1992. Vol. 60. N 2. P. 169--171
- Bouchoule A., Boufendi L. Plasma Sources Sci. Technol. 1993. Vol. 2. P. 204--213
- Boufendi L., Hermann J., Bouchoule A. et al. // J. Appl. Phys. 1994. Vol. 76. N 1. P. 148--153
- Boufendi L., Bouchoule A. // Plasma Sources Sci. Technol. 1994. Vol. 3. P. 262--267
- Bhandarkar U., Kortshagen U., Girshik S. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2003. Vol. 36. P. 1399--1408
- Kortshagen U., Bhandarkar U. // Phys. Rev. E 1999. Vol. 60. N 1. P. 887--898
- Lemons D.S., Keinigs R.K., Winske D. et al. // Appl. Phys. Lett. 1996. Vol. 68. P. 613--616
- Gordiets B., Bertran E. // Chem. Phys. Lett. 2005. Vol. 414. P. 423--428
- Гордиец Б.Ф., Бертран Э. // Хим. физика. 2008. Т. 27. N 4. С. 79--93
- Gordiets B., Ferreira C.M. // J. Appl. Phys. 1998. Vol. 84. N 3. P. 1231--1236
- Schweigert V.A., Schweigert I.V. // J. Phys. D. 1996. Vol. 29. P. 655--660
- Courteille C., Hollenstein Ch., Dorier J.-L. et al. // J. Appl. Phys. 1996. Vol. 80. N 4. P. 2069--2078
- Гиршфельдер Дж., Кертисс Ч., Берд Д. Молекулярная теория газов и жидкостей. М.: ИЛ, 1961. 930 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук