Исследованы особенности применения шестиполюсных электронно-оптических элементов для коррекции сферической аберрации объектива низковольтного растрового электронного микроскопа. По сравнению с известными и хорошо изученными квадрупольно-октупольными корректорами шестиполюсные системы конструктивно более просты, их легче настроить и они менее чувствительны к погрешностям изготовления и нестабильности питания. Рассмотрены два типа шестиполюсных корректоров, имеющих следующие конфигурации: RHRHR и HRRH (R - осесимметричная линза, round lens, и H - шестиполюсник, hexapole). Обе конфигурации обеспечивают существенное уменьшение сферической аберрации объектива электронного микроскопа, но не корректируют хроматической аберрации. Вторая конфигурация обладает весьма существенными преимуществами по сравнению с первой: она имеет более простые конструкцию и систему питания, а также допускает более простую процедуру настройки. Как показали исследования, дополнительными преимуществами второй конфигурации являются более низкие потенциалы на электродах, более высокая точность коррекции аберраций и меньшая чувствительность к погрешностям изготовления. С другой стороны, хроматическая аберрация второй конструкции несколько больше, чем первой. PACS: 02.70.Pt, 41.85.Gy, 41.85.Ne, 68.37.Hk

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.