"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние марганца и никеля на образование структурных дефектов в кремнии
Абдурахманов К.П.1, Витман Р.Ф.1, Гусева Н.Б.1, Куликов Г.С.1, Мелех Б.Т.1, Чичикалюк Ю.А.1, Юсупова Ш.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 11 апреля 1995 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 1996 г.

С помощью рентгеновской топографии и инфракрасной микроскопии исследовано образование кислородно-кремниевых комплексов, включающих атомы Mn и Ni, в диффузионно легированном этими примесями кремнии с различным содержанием кислорода. Установлены факторы, определяющие скрость их образования: а) концентрация кислорода; б) последующая низкотемпературная обработка; в) последующая высокотемпературная обработка; г) скорость охлаждения после диффузии примесей. Изучено влияние взаимодействия примесей Mn и Ni на образование структурных дефектов при их последовательной и одновременной диффузии в кремний.
  • А. Милнс. \it Примеси с глубокими уровнями в полупроводниках (М., 1977)
  • Л.С. Берман, А.А. Лебедев. \it Емкостная спектроскопия глубоких центров в полупроводниках (Л., 1981)
  • O.R. Carlson. Phys. Rev., 104, 937 (1956)
  • Р.Ф. Витман, Н.Б. Гусева, А.А. Лебедев, Э.С. Таптыгов. ФТП, 23, 919 (1989)
  • А.А. Лебедев, К.П. Абдурахманов, Р.Ф. Витман, Н.Б. Гусева, Х.С. Далиев, Ш.Б. Утамурадова. ФТП, 23, 2227 (1989)
  • Р.Ф. Витман, Н.Б. Гусева, А.А. Лебедев, А.А. Ситникова, Ш.Б. Утамурадова. ЖТФ, 58, 2272 (1988)
  • К.П. Абдурахманов, Г.С. Куликов, А.А. Лебедев, Ш.Б. Утамурадова, Ш.А. Юсупова. ФТП, 25, 1075 (1991)
  • Г.С. Куликов, Ю.А. Чичикалюк, Ш.А. Юсупова. ФТП, 29, 469 (1995)
  • C. Haas. J. Phys. Chem. Sol., 15, 108 (1960)
  • E.R. Weber. Appl. Phys. A, 30, 1 (1983)
  • Б.И. Болтакс, М.К. Бахадырханов, С.М. Городецкий, Г.С. Куликов. \it Компенсированный кремний (Л., 1972)
  • К.П. Абдурахманов, Р.Ф. Витман, Г.С. Куликов, Ш.Б. Утамурадова, Ш.А. Юсупова. ФТП, 28, 86 (1994)
  • А.А. Лебедев, К.П. Абдурахманов, Ш.Б. Утамурадова, Х.С. Далиев, Р.Ф. Витман, Н.А. Султанов. В кн.: \it Свойства легированных полупроводниковых материалов (М., 1990)
  • О. Кубашевский, С.Б. Олкокк. \it Металлургическая термохимия (М., 1982)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.