"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Экзоэмиссия и фазовые переходы на реальной поверхности кристаллического и пористого кремния
Крылова И.В.1, Петрухин А.Г.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 10 апреля 1995 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 1996 г.

Исследована "спонтанная" термостимулированная (T=20/400oC) эмиссия электронов и ионов (экзоэмиссия) с поверхности кристалла кремния и пористого кремния. Обнаруженные всплески токов экзоэмиссии с травленой поверхности кремния и пористого кремния при охлаждении отнесены к экзотермическим процессам кристаллизации тонкого оксидного слоя на "реальной" поверхности кремния. Всплески экзоэмиссии при нагревании в ходе многократных термоциклических испытаний соотнесены с многообразными структурными фазовыми переходами в модификациях тридимита и кристобалита в тонком оксидном слое. Результаты, полученные для реальной поверхности кремния, сопоставлены с всплесками эмиссионного тока из поверхностного слоя оксида, полученного высокотемпературным окислением кремния.
  • В.С. Вавилов, В.Ф. Киселев, Б.Н. Мукашев. \it Дефекты в кремнии и на его поверхности (М., Наука, 1990)
  • J. Yoshinobu, S.J. Tanaka, M. Nishijima. Japan. J. Appl. Phys., 32, pt. 1, N 3A, 1171 (1993)
  • И.В. Крылова. Успехи химии, 55, 2138 (1976)
  • И.В. Крылова. Химическая электроника (М., МГУ, 1993)
  • А.В. Петров, А.Г. Петрухин. ФТП, 28, 82 (1994)
  • J. Drenkhan, H. Gross, M. Glaefeke. Phys. St. Sol. (a), 2, K20, K51 (1970)
  • T. Gorecki. Latin. Amer. J. Met. Mater., 7, 3 (1987)
  • T. Gorecki. \it Proc. 9th Int. Symp. on Exoelectr. Emiss. and Appl. (Wroclaw, Poland, 1988) v. 2, p. 303
  • F. Zazepina. \it Abstracts 11th Int. Symp. on Exoelectr. Emiss. and Appl. (Glucolazy, Poland, 1994) p. 37
  • H. Graetsch, O.W. Florke. Z. Kristallogr., 95, N 1--2, 31 (1991)
  • H. Glaefeke. \it Thermally Stimulated Relaxations in Solids, ed. by P. Braunlich (Springer-Verlag, 1979)
  • В.С. Кортов, В.Г. Исаков. Изв. АН СССР. Сер. физ., 46, 1401 (1982)
  • R.Z. Smith, S.D. Collins. J. Appl. Phys., 71, N 8, R1 (1992)
  • Mater. Res. Soc. Symp. Proc. (F), 283 (1992)
  • A. Ourmazd, W. Schroter, A. Bourret. J. Appl. Phys., 56, 565 (1984)
  • K.D. Glinchuk, N.M. Litovchenko, V.Yu. Ptitsin. Phys. St. Sol. (a), 93, 565 (1986)
  • Б.А. Андреев, В.Г. Голубев, В.В. Емцев, Г.И. Кропотов, Г.А. Оганесян, К. Шмальц. ФТП, 27, 567 (1993)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.