"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Анализ временной нестабильности параметров границы раздела диэлектрик--соединение AIIIBV методом изотермической релаксации емкости
Берман Л.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Росийской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 14 декабря 1995 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1996 г.

Рассмотрены существующие методы диагностики временной нестабильности параметров границы раздела полупроводник--диэлектрик с глубокоуровневыми центрами. Предложен метод определения временной нестабильности по длительной изотермической релаксации емкости структуры металл--диэлектрик--полупроводник. Определен энергетический спектр эффективной плотности поверхностных состояний в структурах n-InP--SiO2--Al, изготовленных химическим осаждением в паровой фазе. Изменение емкости в ходе длительной изотермической релаксации является критерием временной нестабильности границы раздела диэлектрик--полупроводник.
  • J. Tardy, I. Thomas, P. Viktorovich, M. Gendry, J.L. Perrossier, C. Santinelli, M.P. Besland, P. Lous, G. Post. Appl. Surf. Sci., 50, 383 (1991)
  • М.О. Бакшин, А.В. Емельянов, О.Д. Меньшиков, С.М. Портнов, В.Б. Уфимцев. Электрон. техн., Сер. 3, Микроэлектроника, 1, 32 (1990)
  • М.О. Бакшин, А.В. Емельянов, С.М. Портнов, Н.С. Самсонов. Электронная промышленность, 6/92, 2 (1992)
  • P.V. Staa, H. Rombach, R. Kassing. J. Appl. Phys., 54, 4014 (1983)
  • D. Vuilaume, J.C. Bourgoin, M. Lanoo. Phys. Rev. B, 34, 1171 (1986)
  • H. Lakhadri, D. Vuilaume, J.C. Bourgoin, M. Lanoo. Phys. Rev. B, 38, 13 124 (1988)
  • H. Hasegawa, Li He, H. Ohno, T. Sawada, T. Haga, Y. Abe, H. Takahashi. J. Vac. Sci. Techn. B, 5, 1097 (1987)
  • V. Kumar, W.E. Dahlke. Sol. St. Electron., 20, 143 (1977)
  • С. Зи. Физика полупроводниковых приборов [Пер. с англ.] (М., Мир, 1984) т. 1, гл. 7, с. 456
  • E.H. Niccollian, J.R. Brews. Mos (Metal--Oxide--Semiconductor). Physics and Technolohy (N. Y., 1982) p. 972
  • Л.С. Берман, И.В. Грехов, И.Н. Каримов, Н.В. Остроумова. ФТП, 27, 917 (1993)
  • K. Yamasaki, M. Yoshida, T. Sugano. Jpn. J. Appl. Phys., 18, 113 (1979)
  • Л.С. Берман, А.Д. Ременюк, М.Г. Толстобров. Препринт ФТИ, N 974 (Л., 1985) с. 25
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.