Исследование примесного состава полупроводниковых структур на основе арсенида галлия с использованием нейтронно-активационного анализа
Дутов А.Г.1, Комар В.А.1, Ширяев С.В.1, Смахтин Л.А.1
1Институт физики твердого тела и полупроводников Академии наук Белоруссии, Минск, Белоруссия
Поступила в редакцию: 12 марта 1996 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1997 г.
С использованием высокочувствительного метода нейтронно-активационного анализа проведено исследование примесного состава в пластинах арсенида галлия. Определен уровень содержания в них Se, Cr, Ag, Fe, Zn, Co и Sb, а также вариации содержания этих примесей для различных партий пластин. Показаны возможности использования нейтронно-активационного анализа в сочетании с послойным химическим травлением для изучения объемного распределения примесных элементов в полупроводниковых структурах на основе арсенида галлия.
- Б.В. Луфт, В.А. Переводчиков, Л.Н. Возликова. В сб.: Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников (М., Радио и связь, 1982) с. 136
- Т.Г. Югова, А.В. Говорков, А.С. Брук. Электрон. техника. Материалы, 2, 24 (1984)
- D. Brice. J. Mat. Sci., 2, 131 (1967)
- W. Kern. J. Electrochem. Soc., 109, 200 (1962)
- E. Bujdoso. Proc. Conf. Appl. Phys. Chem. Methods (Budapest, 1963) v. 2, p. 262
- K. Kudo, N. Hishinuma. J. Radioanal. Chem., 3, 369 (1969)
- K. Kudo, N. Hishinuma. J. Radioanal. Chem., 5, 331 (1970)
- А.Г. Дутов, В.А. Комар, С.В. Ширяев, К.Е. Лобанова, В.В. Забродская, Л.П. Можейко. ЖАХ, 49, 76 (1994)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук