Модель квантовых ям и край оптического поглощения в структурно-неоднородных сплавах на основе a-Si : H
Будагян Б.Г.1, Айвазов А.А.1, Стряхилев Д.А.1, Соколов Е.М.1
1Московский институт электронной техники, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 10 июня 1997 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1998 г.
Мы исследовали микроструктуру и край оптического поглощения пленок a-Si : H и сплавов a-SiNx : H (x=0.0-0.72, полученных разложением в высокочастотном тлеющем разряде разбавленных водородом моносилана и смеси SiH4 + NH3 соответственно. Структурно-неоднородные пленки с оптоэлектронными характеристиками "приборного качества" были получены при повышенных скоростях роста (до 8 Angstrem/c). Как установлено методами атомной силовой микроскопии и спектроскопии ИК поглощения, характерным элементом их микроструктуры являются островки диаметром ~500 Angstrem, границы которых образованы скоплениями атомов водорода (в случае a-Si : H) или водорода и азота (в случае a-SiNx : H). При этом оптическая ширина запрещенной зоны a-Si : H (a-SiNx : H) определяются концентрациями связей SiH (SiN) в объеме островков и не чувствительна к изменению содержания водорода (азота) на границах островков. Этот результат находит свое объяснение в рамках модели квантовых ям, учитывающей характерные размеры микроструктуры, образованной атомами водорода либо азота.
- G.D. Cody. Semicond. Semimet. 21B, 11 (1984)
- M.B. Schubert, H.-D. Mohring, E. Lotter, G.H. Bauer, IEEE Trans., 36, 2863 (1989).
- A.P. Sokolov, A.P. Shebanin, O.A. Golikova, M.M. Mezdrogina. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 99 (1991)
- J. Robertson. Phil. Mag., 63, 47 (1991)
- M.H. Brodsky. Sol. St. Commun., 36, 55 (1980)
- A.A. Klochikhin. Phys. Rev. B, 52, 10, 979 (1995)
- S.K. O'Leary, S. Zukotinsky, J.M. Pierz. J. Appl. Phys., 78, 4282 (1995)
- B.G. Budaguan, A. Aivazov, A.Yu. Sazonov, A.A. Popov, A.E. Berdnikov. Mater. Res. Soc. Spring Meeting (San Francisco, USA, 1997)
- A.A. Langford, M.L. Fleet, B.P. Nelson, W.A. Lanford, N. Maley. Phys. Rev. B, 45, 13, 367 (1992)
- S. Chattopadhay, S.N. Sharma, R. Banarjee, D.M. Bhusari, S.T. Kshirsagar, Yan Chen, D.L. Wiliamson. Appl. Phys. Lett., 76, 5208 (1994)
- J.W. Osenbach, W.R. Knolle. J. Appl. Phys., 60, 1408 (1986)
- G. Lucovsky, J. Yang, S.S. Chao, J.E. Tyler, W. Czubatyj. Phys. Rev. B, 28, 3234 (1983)
- E. Bustarret, M. Bensouda, M.C. Habrard, J.C. Bruyere, S. Pouline, S.C. Gujrathi. Phys. Rev. B, 38, 8171 (1988)
- B.G. Budaguan, A.A. Aivazov, A.Yu. Sazonov. Physica B, 193, 195 (1994)
- J.M. Marshall, R.A. Street, M.J. Thompson. Phil. Mag. B, 54, 51 (1986)
- J. Baum, K.K. Gleason, A. Pines, A.N. Garroway, J.A. Reimer. Phys. Rev. Lett., 56, 1377 (1986).
- Л.Д. Ландау, Е.М. Лифщиц. Квантовая механика. Нерелятивистская теория (М., 1989)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук