Приведены результаты исследования донорных центров в кремнии, выращенном по методу Чохральского и легированном редкоземельными примесями Dy, Ho, Er и Yb с помощью ионной имплантации. Обсуждаются три группы доминирующих доноров с энергией ионизации менее 0.2 эВ, образующихся в кремнии после отжига при температурах 700 и 900oC. Мелкие доноры ~ Ec-40 мэВ отнесены к термодонорам, формирующимся с участием кислорода и собственных дефектов. Две другие группы донорных состояний идентифицированы как центры, включающие в свой состав редкоземельные ионы.
J.L. Benton, J. Michel, L.C. Kimerling, D.C. Jacobson, Y.H. Xie, D.J. Eaglesham, E.A. Fitzgerald, J.M. Poate. J. Appl. Phys., 70, 2667 (1991)
S. Libertino, S. Coffa, G. Franzo, F. Priolo. J. Appl. Phys., 78, 3867 (1995)
H. Przybylinska, W. Jantsch, Yu. Suprun-Belevitch, M. Stepikhova, L. Palmetshofer, G. Hendorfer, A. Kozanecki, R.J. Wilson, B.J. Sealy. Phys. Rev. B, 54, 2532 (1996)
V.V. Emtsev, V.V. Emtsev, Jr., D.S. Poloskin, E.I. Shek, N.A. Sobolev. J. Luminesc. (1999) (в печати)
V.V. Emtsev, V.V. Emtsev, Jr., D.S. Poloskin, E.I. Shek, N.A. Sobolev, J. Michel, L.C. Kimerling. Appl. Phys. Lett. (1999) (в печати)
J. Michel, L.J. Benton, R.F. Ferrante, D.C. Jacobson, D.J. Eaglesham, E.A. Fitzgerald, Y.-H. Xie, J.M. Poate, L.C. Kimerling. J. Appl. Phys., 70, 2672 (1991)
V.V. Emtsev, G.A. Oganesyan, K. Schmalz. Sol. St. Phenomena, ed. by H. Richter, M. Kittler, C. Claeys (Scitec Publications Ltd, Switzerland, 1996) v. 47--48, p. 259
В.В. Емцев, Д.С. Полоскин, Н.А. Соболев, Е.И. Шек. ФТП, 28, 1084 (1994)
F. Priolo, G. Franzo, S. Coffa, A. Polman, S. Libertino, R. Barklie, D. Carey. J. Appl. Phys., 78, 3874 (1995)
J. Palm, F. Gan, B. Zheng, J. Michel, L.C. Kimerling. Phys. Rev. B, 54, 17 603 (1996)
М.С. Бреслер, О.Б. Гусев, Б.П. Захарченя, И.Н. Яссиевич. ФТТ, 38, 1474 (1996)
F. Priolo, G. Franzo, S. Coffa, A. Carnera. Phys. Rev. B, 57, 4443 (1998)