Исследовалось перераспределение Er при его имплантации в кремний с дозами вблизи порога аморфизации и последующей твердофазной эпитаксиальной кристаллизации. При дозах Er 5· 10¹³ и 1· 10¹⁴ см^-2 методом резерфордовского обратного рассеяния обнаружено образование скрытого аморфного alpha-слоя. Сегрегационное перераспределение Er в этом случае происходит навстречу с двух сторон, соответствующих верхней и нижней границам скрытого alpha-слоя, и приводит к образованию концентрационного пика в месте встречи двух фронтов кристаллизации. Предложен метод расчета координатной зависимости коэффициента сегрегации k, исходя из профилей распределения примеси эрбия до и после отжига. На зависимости k(x) обнаружен участок спада, протяженность которого увеличивается с уменьшением дозы имплантации Er. Его появление объясняется неравновесностью сегрегации в начале твердофазной эпитаксиальной кристаллизации.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.