Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Тонкая структура спектров сечения неупругого рассеяния электронов и поверхностный параметр Si

Паршин А.С.¹, Игуменов А.Ю.¹, Михлин Ю.Л.², Пчеляков О.П.³, Никифоров А.И.³, Тимофеев В.А.³

¹Сибирский государственный аэрокосмический университет им. академика М.Ф. Решетнева, Красноярск, Россия Reshetnev Siberian State Aerospace University, Krasnoyarsk, Russia

Reshetnev Siberian State Aerospace University, Krasnoyarsk, Russia

²Институт химии и химической технологии СО РАН, ФИЦ КНЦ СО РАН, Красноярск, Россия Institute of Chemistry and Chemical Technology, Federal Research Center KSC SB RAS, Russian Academy of Sciences, Krasnoyarsk, Russia

Institute of Chemistry and Chemical Technology, Federal Research Center KSC SB RAS, Russian Academy of Sciences, Krasnoyarsk, Russia

³Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

Поступила в редакцию: 4 августа 2014 г.

Выставление онлайн: 20 марта 2015 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Спектры потерь энергии отраженных электронов получены для серии образцов Si, приготовленных при различных технологических условиях, имеющих разную кристаллографическую ориентацию. Из этих экспериментальных спектров вычислены зависимости произведения средней длины неупругого пробега и дифференциального сечения неупругого рассеяния электронов от потерь энергии электронов. Предложен метод анализа спектров сечения неупругого рассеяния электронов посредством моделирования экспериментальных спектров с помощью трехпараметрических универсальных функций сечения Тоугаарда. Результаты моделирования применены для определения природы пиков потерь и расчета поверхностного параметра.

А.С. Паршин, Г.А. Александрова, А.Е. Долбак, О.П. Пчеляков, Б.З. Ольшанецкий, С.Г. Овчинников, С.А. Кущенков. Письма ЖТФ, 34, 41 (2008)
А.С. Паршин, О.П. Пчеляков, А.Е. Долбак, Б.З. Ольшанецкий. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 6, 5 (2013)
A.C. Паршин, Е.П. Пьяновская, О.П. Пчеляков, Ю.Л. Михлин, А.И. Никифоров, B.A. Тимофеев, М.Ю. Есин. ФТП, 48, 41 (2014)
А.С. Паршин, С.А. Кущенков, Г.А. Александрова, С.Г. Овчинников. ЖТФ, 81, 69 (2011)
А.С. Паршин, С.А. Кущенков, О.П. Пчеляков, Ю.Л. Михлин, Т. Хасанов. Автометрия, 48, 88 (2012)
S. Tougaard. Surf. Interface Analysis, 25, 137 (1997)
S. Tougaard. http:// www.quases.com
S. Tougaard, I. Chorkendorff. Phys. Rev. B, 35, 6570 (1987)
S. Tougaard. Surf. Interface Analysis, 11, 453 (1988)
G. Gergely. Progr. in Surf. Sci., 71, 31 (2002)
G.T. Orosz, G. Gergely, S. Gurban, M. Menyhard, J. Toth, D. Varga, S. Tougaard. Vacuum, 71, 147 (2003)
В.Г. Лифшиц, Ю.В. Луняков. Спектры ХПЭЭ поверхностных фаз на кремнии (Владивосток, Дальнаука, 2004) с. 36
W.S.M. Werner, H. Tratnik, J. Brenner, H. Stori. Surf. Sci., 495, 107 (2001)
W.S.M. Werner, L.Kover, S.Egri, J. Toth, D. Varga. Surf. Sci., 585, 85 (2005)
G. Gergely, M. Menyhard, S. Gurban, A. Sulyok, J. Toth, D. Varga, S. Tougaard. Sol. St. Ionics, 141-142, 47 (2001)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель