Вышедшие номера
Особенности полевой генерации неосновных носителей заряда в структурах Si-SiO2
Барабан А.П.1, Коноров П.П.1, Дмитриев В.А.1, Прокофьев В.А.1
1Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 14 июня 2012 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2013 г.

Рассмотрены особенности генерационных процессов в структурах Si-SiO2 при наличии сильного электрического поля в окисном слое (Eox~ 10 МВ/см). Показано, что при достижении определенного порогового значения напряженности электрического поля происходит подключение дополнительного механизма генерации неосновных носителей заряда в кремнии, связанного с развитием процессов электролюминесценции в окисном слое.
  1. В.Г. Литовченко, А.П. Горбань. Основы физики микроэлектронных систем металл-диэлектрик-полупроводник (Киев, Наук. думка, 1978)
  2. Е.И. Гольдман, А.Г. Ждан, А.М. Сумарока. ФТП, 26, 2048 (1992)
  3. M. Zerbst. Z. Angew. Phys., 22 (1), 120 (1966)
  4. А.П. Барабан, Ю.А. Тарантов. Микроэлектроника, 8 (4), (1979)
  5. Е.И. Гольдман. ФТП, 27, 269 (1993)
  6. А.П. Барабан, В.А. Дмитриев, Ю.В. Петров. Электролюминесценция в твердотельных слоистых структурах на основе кремния (СПб., СПб. ун-т, 2009)
  7. A.P. Baraban, Yu.V. Petrov. Semiconductors, 42, 1515 (2008)
  8. С.М. 3и. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984) т. 1
  9. P. Solomon, N. Klein. J. Appl. Phys., 47, 1023 (1976)
  10. D.J. Di Maria, J.R. Kirtley, E.J. Pakulis. J. Appl. Phys., 56, 401 (1984)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.