Для исследования и разработки новой компонентной базы кремниевой электроники проведен анализ электрофизических явлений в структуре металл--диэлектрик--полупроводник (МДП) при переводе ее размерных параметров в нанометровый диапазон благодаря увеличению уровня легирования дырочного Si до NA~ 1019 см-3 и уменьшению толщины окисла до 0.4-4.0 нм. В результате становится возможным с помощью относительно небольшого (единицы вольт) запирающего напряжения создать необходимые и достаточные условия для резонансного туннелирования электронов. Это приводит к трансформации МДП конденсатора в резонансно-туннельный диод, которая сопровождается принципиальным расширением свойств и функций МДП наноструктуры.
J. Robertson. Rep. Progr. Phys., 69 (2), 327 (2006)
V.A. Gritsenko, K.A. Nasyrov, Yu.N. Novikov, A.L. Aseev, S.Y. Yoon, Jo-Won Lee, E.-H. Lee, C.W. Kim. Solid-State Electron., 47 (10), 1651 (2003)
В.Д. Калганов, Н.В. Милешкина, Е.В. Остроумова. ФТП, 37 (3), 372 (2003)
Т. Андо, А. Фаулер, Ф. Стерн. Электронные свойства двумерных систем (М., Мир, 1985)
F. Capasso, K. Mohammed, A.Y. Cho. IEEE J. Quant. Electron., QE-22 (9), 1853 (1986)
F. Capasso, S. Sen, F. Beltram. In: High-Speed Semiconductor Devices, ed. by S.M. Sze. (N.Y., Wiley, 1990) p. 465
S. Watanabe, M. Maeda, T. Sugisaki, K. Tsutsui. Jpn. J. Appl. Phys., 44 (4B), 2637 (2005)
Г.Г. Карева. ФТП, 33 (8), 969 (1999)
G.G. Kareva, M.I. Vexler, I.V. Grekhov, A.F. Shulekin. Proc. 10th Int. Symp. Nanostructures: Physics and Technology" (St.Petersburg, 2002) p. 570
С. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984) т. 1
А.С. Тагер, Электрон. техн., сер. 1. Электроника СВЧ, вып. 9 (403), 21 (1987)
Н.В. Алкеев, С.В. Аверин, А.А. Дорофеев, P. Velling, E. Khorenko, W. Prost, F.J. Tegude. ФТП, 41 (2), 233 (2007)
М.И. Векслер, С.Э. Тягинов, Ю.Ю. Илларионов, Yew Kwang Sing, Ang Diing Shenp, В.В. Федоров, Д.В. Исаков. ФТП, 47 (5), 675 (2013)
E. Cartier, J.C. Tsang, M.V. Fischetti, D.A. Buchanan. Microelectron. Eng., 36 (1--4), 103 (1997)
R. Tsu, L. Esaki. Appl. Phys. Lett., 22 (11), 562 (1973)