"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Электрофизические свойства InAs, облученного протонами
Брудный В.Н.1, Колин Н.Г.2, Потапов А.И.1
1Сибирский физико-технический институт им. В.Д. Кузнецова, Томск, Россия
2Государственный научно-исследовательский центр института физической химии им. Л.Я. Карпова, Обнинское отделение, Обнинск, Россия
Поступила в редакцию: 5 августа 2002 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2003 г.

Представлены результаты исследования электрофизических свойств InAs, облученного ионами H+ (E=5 МэВ, D=2· 1016 см-2). Показано, что независимо от уровня легирования и типа проводимости исходного материала после облучения InAs всегда приобретает n+-тип проводимости (n~(2-3)·1018 см-3). Обсуждается явление закрепления уровня Ферми в облученном материале. Исследована термическая стабильность радиационных нарушений в InAs при температурах последующего отжига до 800oC.
  • В.Н. Брудный. Изв. вузов. Физика, 29 (8), 84 (1986)
  • L.W. Aukerman. Phys. Rev., 115 (5), 1133 (1959)
  • M. Ladjemi. Le titre de docteur ingenieur (Universite de Paris-Sud, Centre D'Orsay, 1982)
  • V.N. Brudnyi, S.A. Vorobiev, A.A. Tsoi. Phys. St. Sol. (a), 72, 529 (1982)
  • Н.Г. Колин, В.Б. Освенский, Н.С. Рытова, Е.С. Юрова. ФТП, 21 (8), 521 (1987)
  • J. Tersoff. Phys. Rev. B, 30 (8), 4874 (1984)
  • V.N. Brudnyi, S.N. Grinyaev, V.E. Stepanov. Physica B, 212, 429 (1995)
  • В.В. Каратаев, М.Г. Мильвидский, Н.С. Рытова, В.И. Фистуль. ФТП, 11 (9), 1719 (1979)
  • J.J. Renn, W. Kohn. Phys. Rev. B, 10, 448 (1974)
  • В.Н. Брудный. ФТП, 33, 1290 (1999)
  • В.Н. Брудный, С.Н. Гриняев, Н.Г. Колин. Материаловедение (2002), в печати
  • В.В. Каратаев, Г.А. Немцова, Н.С. Рытова, Т.Г. Югова. ФТП, 11 (9), 1670 (1977)
  • Н.Г. Колин, В.Б. Освенский, Н.С. Рытова, Е.С. Юрова. ФТП, 20 (5), 822 (1986)
  • Н.Г. Колин, В.Б. Освенский, Н.С. Рытова, Е.С. Юрова. Физика и химия обраб. материалов, 4, 3 (1986)
  • В.Н. Брудный, С.Н. Гриняев. ФТП, 32 (3), 316 (1998)
  • О.К. Гусев, В.П. Кириенко, А.А. Ломтев, В.Б. Яржембицкий. ФТП, 17 (6), 1153 (1983)
  • В.В. Каратаев, М.И. Резников, В.И. Тальянский. Поверхность. Физика, химия, механика, 4, 57 (1986)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.