"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Химическая нитридизация поверхности (100)GaAs: влияние на электрофизические характеристки Au--Ti/GaAs поверхностно-барьерных структур
Львова Т.В.1, Берковиц В.Л.1, Дунаевский М.С.1, Лантратов В.М.1, Макаренко И.В.1, Улин В.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 10 февраля 2003 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2003 г.

Исследовалось влияние химической нитридизации поверхности подложек (100) GaAs в гидразин-сульфидных растворах перед формированием барьерных контактов на параметры поверхностно-барьерных структур Au--Ti/GaAs. Структуры, сформированные на нитридизованных подложках, обнаруживают уменьшение обратных токов и увеличение напряжения пробоя. При этом высота потенциального барьера в таких структурах равна 0.71±0.02 эВ, а коэффициент идеальности составляет 1.06±0.01. Наблюдаемый эффект улучшения электрофизических параметров структур обусловлен замещением на поверхности подложки слоя естественного окисла тонким когерентным слоем нитрида галлия.
  • И.В. Седова, Т.В. Львова, В.П. Улин, С.В. Сорокин, А.В. Анкудинов, В.Л. Берковиц, С.В. Иванов, П.С. Копьев. ФТП, 36, 59 (2002)
  • F. Cappasso, G.F. Williams. J. Electrochem. Soc., 20, 45 (1982)
  • Ю.А. Берашевич, А.Л. Данилюк, А.Н. Холод, В.Е. Борисенко. ФТП, 36, 91 (2002)
  • N. Braslau. J. Vac. Sci. Technol. A, 4, 3085 (1986)
  • V.L. Berkovits, V.P. Ulin, M. Losurdo, P. Capezzuto, G. Bruno, G. Perna, V. Capozzi. Appl. Phys. Lett., 80, 3739 (2002)
  • V.L. Berkovits, T.V. L'vova, V.P. Ulin. Vaccuum, 57, 201 (2000)
  • А.В. Анкудинов, М.С. Дунаевский, В.А. Марущак, А.Н. Титков, С.В. Иванов, С.В. Сорокин, Т.В. Шубина, П.С. Копьев, А. Вааг, Г. Ландвер. ФТП, 42, 1874 (2000)
  • С. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984)
  • A.K. Sinha, T.E. Smith, M.H. Read, J.M. Poate. Sol. St. Electron., 19, 489 (1976)
  • L.C. Zhang, S.K. Cheung, C.L. Liang, N.W. Cheung. Appl. Phys. Lett., 50, 445 (1987)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.