"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование углеродной структуры композитных пленок a-C : H<Cu> и a-C : H<Co> методом рамановской спектроскопии
Сморгонская Э.А.1, Иванов-Омский В.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 27 декабря 2004 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2005 г.

Выявлены основные изменения в рамановском спектре пленок a-C : H в области частот 1200-1700 см-1 при модифицировании Cu и Co. Путем сопоставления результатов с известными данными для различных углеродных структур установлено, что введение металлов в концентрациях, сравнимых с содержанием углерода, стимулирует рост и упорядочение графитоподобных нанокластеров в системе s-1ptp2-связей углерода. Обнаружено, что аналогичные структурные перестройки происходят при термическом отжиге как a-C : H, так и композитных пленок a-C : H<Cu> и a-C : H<Co>, однако присутствие металлов затрудняет термостимулированную графитизацию. Сделаны оценки размеров графитоподобных нанокластеров в отожженных и неотожженных пленках всех типов и показано более эффективное графитизирующее действие Co в сравнении с Cu.
  • J.L. Flottard, J. Akinnifesi, E. Cambril, B Despax. J. Appl. Phys., 70, 798 (1991)
  • V.I. Ivanov-Omskii. In: Diamond Based Composites and Related Materials, ed. by M. Prelas, A. Benedictus, L.-T.S. Lin, G. Popovici, P. Gielisse. NATO ASI Series, 3. High Technology, 38, 171 (1997)
  • Q.E. Huang, S.F. Yoon, Rusli, K. Chew. J. Ahn. J. Appl. Phys., 90 (9), 4520 (2001)
  • A.V. Kolobov, J. Tominaga, T.K. Zvonareva, V.I. Ivanov-Omskii, H. Oyanagi. J. Appl. Phys., 92, 6195 (2002)
  • J. Robertson. Progr. Sol. St. Chem., 21, 199 (1991)
  • A.C. Ferrari, J. Robertson. Phys. Rev. B, 64, 075 414 (2001)
  • В.И. Иванов-Омский, Т.К. Звонарева, Г.С. Фролова. ФТП, 34 (12), 1450 (2000)
  • Т.К. Звонарева, Е.И. Иванова, Г.С. Фролова, В.М. Лебедев, В.И. Иванов-Омский. ФТП, 36 (6), 734 (2002)
  • M. Tamor, W. Vassel. J. Appl. Phys., 76, 3823 (1994)
  • J. Schwan, S. Ulrich, V. Batolly, H. Ehrhardt, S.R.P. Silva. J. Appl. Phys., 80 (1), 440 (1996)
  • R.J. Nemanich, S.A. Solin. Phys. Rev. B, 20 (2), 392 (1979)
  • F. Tuinstra, J.L. Koenig. J. Chem. Phys., 53 (3), 1126 (1970)
  • А.М. Данишевский, Э.А. Сморгонская, С.К. Гордеев, А.В. Гречинская. ФТТ, 43 (1), 132 (2001)
  • В.И. Иванов-Омский, Г.С. Фролова. ЖТФ, 65 (9), 186 (1995)
  • Т.К. Звонарева, В.М. Лебедев, Т.А. Полянская, Л.В. Шаронова, В.И. Иванов-Омский. ФТП, 34 (9), 135 (2000)
  • Э.А. Сморгонская, Т.К. Звонарева, Е.И. Иванова, И.И. Новак, В.И. Иванов-Омский. ФТТ, 45 (9), 1579 (2003)
  • A.C. Ferrari, J. Robertson. Phys. Rev. B, 61 (20), 14 095 (2000)
  • D. Lin-Vien, N.B. Coltharp, W.G. Fateley, J.G. Graselli. The Handbook of Infrared and Raman Characteristic Frequencies of Organic Molecules (Academic, N. Y., 1991)
  • C. Thomsen, S. Reich. Phys. Rev. Lett., 85 (24), 5214 (2000)
  • E.D. Obraztsova, M. Fujii, S. Hayashi, V.L. Kuznetsov, Yu.V. Butenko, A.L. Chuvilin. Carbon, 35 (5--6), 821 (1998)
  • V.I. Ivanov-Omskii, V.I. Siklitskii, A.A. Sitnikova, A.A. Suvorova, A.V. Tolmachev, T.K. Zvonareva, S.G. Yastrebov. Phil. Mag., B, 76 (6), 973 (1997)
  • S.G. Yastrebov, V.I. Ivanov-Omskii, V.I. Siklitskii, A.A. Sitnikova. J. Non-Cryst. Sol., 227--230, 622 (1998)
  • C. Mapelli, C. Castiglioni, G. Zebri, K. Mullen. Phys. Rev. B, 60, 12 710 (1999)
  • R. Nicklow, N. Wakabayashi, H.G. Smith. Phys. Rev. B, 5, 4951 (1972)
  • J. Ristein, R.T. Stief, L. Ley, W. Bayer. J. Appl. Phys., 84, 7, 3836 (1998)
  • M.S. Dresselhaus, M.A. Pimenta, A. Marucci, M.J. Matthews, S.D.M. Brown, A.M. Rao, P.C. Eklund, G. Dresselhaus, R. Saito, M. Endo. In: Intern. Symposium of Carbon (Tokio, 1998) p. 94
  • В.И. Иванов-Омский, А.В. Толмачев, С.Г. Ястребов. ФТП, 35 (2), 227 (2001)
  • J.J. Delaunay, T. Hayashi, M. Tomita, S. Hurono. J. Appl. Phys., 62 (5), 2200 (1997)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.