"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Фрактальный характер распределения неоднородностей потенциала поверхности n-GaAs(100)
Торхов Н.А.1, Божков В.Г.1
1Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов, Томск, Россия
Поступила в редакцию: 7 августа 2008 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2009 г.

С использованием метода Кельвина атомно-силовой микроскопии исследовалась фрактальная геометрия потенциального рельефа поверхности высоколегированной подложки n+-GaAs(100). Средние значения фрактальных размерностей Df потенциального рельефа, определенных методом триангуляции, методом горизонтальных сечений Dc и методом подобия Ds, достаточно близки друг к другу, что указывает на единую природу формирования фрактального рельефа потенциала поверхности. В целом полученные значения фрактальных размерностей говорят о том, что относительное расположение локальных неоднородностей потенциального рельефа высоколегированной подложки n+-GaAs(100) после химико-динамической полировки аналогично узору известной фрактальной кривой под названием "салфетка Серпинского". Было получено, что изменение фрактальных неоднородностей потенциала происходит не пропорционально квадрату изменения линейных размеров исследуемых участков, как в двумерном случае, а значительно медленнее --- пропорционально изменению их линейных размеров в степени 2/Dc, где 1<Dc<2. PACS: 61.43.Hv, 63.35.Ct, 68.35.B-, 68.37.Ps, 68.47.Fg
  • В.Г. Божков, Н.А. Торхов, И.В. Ивонин, В.А. Новиков. ФТП, 42 (5), 546 (2008)
  • В.Л. Миронов. Основы сканирующей зондовой микроскопии (Ин-т физики микроструктур РАН, Нижний Новгород, 2004) с. 111
  • Н.М. Коровкина. Автореф. канд. дис. (СПб гос. электротехн. ун-т им. В.И. Ульянова (Ленина), 2006 )
  • www.ntmdt.com
  • В.Л. Бонч-Бруевич, С.Г. Калашников. Физика полупроовдников. Уч. пособие для вузов. 2-е изд., перераб. и доп. (М., Наука, 1990)
  • Б.Б. Мандельброт. Фрактальная геометрия природы (М., Ин-т компьютерных исследований, 2002) с. 656
  • F. Family, T. Vicsek. Dynamics of Fractal Surfaces (World Scientific, Singapore, 1991) c. 376
  • Е. Федер. Фракталы (М., Мир, 1991)
  • B.B. Mandelbrot. In: Statistical Models and Turbulence, ed. by M. Rosenblatt, C. Van Atta. Lectuire Notes in Physics, 12 (Springer, N. Y., 1972) p. 333
  • B.B. Mandelbrot. J. Fluid Mech., 62, 331 (1974)
  • А.В. Панин, А.Р. Шугуров. Поверхность, 6, 64 (2003)
  • А.Д. Морозов. Введение в теорию фракталов (М.--Ижевск, НИЦ "Регулярная и хаотическая динамика", 2001) с. 128
  • П.А. Арутюнов, А.Л. Толстихина, В.Н. Демидов. Завод. лаб., 65 (9), 27 (1999)
  • S.M. Sze. Modern Semiconductor Device Physics (John Wiley \& Sons Inc, 1997)
  • P. Bak. Phys. Today, 39, 38 (1986)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.