"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Метод Laplace-DLTS с выбором параметра регуляризации по L-кривой
Левин М.Н.1, Татаринцев А.В.1, Ахкубеков А.Э.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Поступила в редакцию: 4 февраля 2008 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2009 г.

Метод DLTS (Deep Level Transient Spectroscopy) является одним из основных методов, широко используемых для определения параметров дефектов, приводящх к возникновению глубоких уровней в запрещенной зоне полупроводникового материала. Предложено использовать подход L-кривой при выборе параметра регуляризации в методе Laplace-DLTS для исключения некотролируемых ошибок и повышения достоверности получаемых результатов. Возможности метода продемонстрированы численным анализом модельного релаксационного сигнала, содержащего 3 экспоненты с близкими значениями показателей и малую шумовую составляющую. Показано, что предложенный вариант Laplace-DLTS с использованием L-кривой для выбора параметра регуляризации или LL-DLTS обладает большей надежностью по сравнению с методом Laplace-DLTS с выбором параметра регуляризации по невязке. PACS: 71.55.Gs, 61.72.S-
  • D.V. Lang. J. Appl. Phys., 45 (7), 3023 (1974)
  • D.D. Nolte, E.E. Haller. J. Appl. Phys., 62 (3), 900 (1987)
  • H. Stehfest. Commun. ACM, 13 (1), 47 (1970)
  • D.P. Gaver. Oper. Res., 14 (3), 444 (1966)
  • L. Dobaczewski, P. Kaczor, I.D. Hawkins, A.R. Peaker. J. Appl. Phys., 76 (1), 194 (1994)
  • L. Dobaczewski, A.R. Peaker, K. Bonde Nielsen. J. Appl. Phys., 96 (9), 4689 (2004)
  • S.W. Provencher. Computer Phys. Communications, 27, 213 (1982)
  • А.П. Тихонов, В.Я. Арсенин. Методы решения некоторых задач (М., Наука, 1979)
  • В.А. Морозов. Регулярные методы решения некорректно поставленных задач (М., Наука, 1987)
  • C.L. Lawson, R.J. Hanson. Solving Least Squares Problems (Prentice-Hall, Englewood Cliffs, 1974)
  • P.C. Hansen. SIAM Rev., 34, 561 (1992)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.