Сообщается о результатах получения слоев кремния на различных подложках методом плазмохимического осаждения в системе тетрафторид кремния-водород. Сняты спектры излучения плазмы в этой системе. Образцы исследованы методами рентгеновской дифракции и вторичной ионной масс-спектрометрии. Проведено морфологическое изучение поверхности, получены спектры комбинационного рассеяния, спектры пропускания в инфракрасном диапазоне и спектры фотолюминесценции. По фазовому составу слои представляют собой нанокристаллический кремний с размером блоков когерентного рассеяния от 3 до 9 нм в зависимости от условий проведения процесса и обладают интенсивной фотолюминесценцией при комнатной температуре. PACS: 61.46.Hk, 81.07.Bc
Н.Н. Герасименко, Ю.Н. Пархоменко. Кремний --- материал нанотехнологий (М., Техносфера, 2007)
G.Q. Ding, W.Z. Shen, M.J. Zheng, W.L. Xu, Y.L. He, Q.X. Guo. J. Cryst. Growth, 283, 339 (2005)
M. Morales, Y. Leconte, R. Rizk, D. Chateigner. J. Appl. Phys., 97, 34 307 (2005)
M. Archer, M. Christophersen, P.M. Fauchet. Biomed. Microdevices, 63, 203 (2004)
M. Hiruoka, K. Stato, K. Hirakuri. J. Appl. Phys., 102, 024 308 (2007)
J. De la Torre, G. Bremond, M. Lemiti, G. Guillot, P. Mur, N. Buffet. Thin Sol. Films, 511- 512, 163 (2006)
T. Canham. Appl. Phys. Lett., 57, 1046 (1990); M.V. Wolkin, J. Jorne, P.M. Fauchet, G. Allan, C. Delerue. Phys. Rev. Lett., 82, 197 (1999)
S. Furukawa, T. Miyasato. Phys. Rev. B, 38, 5726 (1988)
L.N. Dinh, L.L. Chase, M. Baloch, W.J. Siekhaus, F. Wooten. Phys. Rev. B, 54, 5029 (1996)
M.L. Brongersma, P.G. Kick, A. Polman, K.S. Min, A. Atwater. Appl. Phys. Lett., 76, 351 (2000)
X. Zhao, O. Scoenefeld, J. Kusano, Y. Aoyagi, T. Sugano. Jpn. J. Appl. Phys., 33, L469 (1994)
A.J. Kenyon, P.F. Trwoga, C.W. Pitt. J. Appl. Phys., 79, 9291 (1996)
G. Cicala, P. Capezzuto, G. Bruno. Thin Sol. Films, 337, 59 (1999)
S. Veprek, F.-A. Sarott, M. Rueckschloss. J. Non-Cryst. Sol., 137- 138, 733 (1991)
M. Otobe, T. Kanai, T. Ifuku, H. Yajimi, S. Oda. J. Non-Cryst. Sol., 198- 200, 875 (1996)
E. Edelberg, S. Bergh, R. Naone, M. Hall, E.S. Aydil. J. Appl. Phys., 81, 2410 (1997)
M.-B. Park, N.-H. Cho. Appl. Surf. Sci., 190, 151 (2002)
A.M. Ali, S. Hasegawa. Thin Sol. Films., 437, 68 (2003)
D.W. Hess. Ann. Rev. Mater. Sci., 16, 163 (1986)
P. Capezzuto, G. Bruno. Pure Appl. Chem., 60, 633 (1998)
Y.-L. He, C.-Z. Yin, G.-X. Cheng, L.-C. Wang, X. Liu, G.Y. Hu. J. Appl. Phys., 75, 797 (1994)
G. Bruno, P. Cappezutto, G. Cicala. J. Appl. Phys., 69, 7256 (1991)
A. Madan. In: Topics in Appl. Phys. (Springer, Berlin, 1984) v. 55. p. 245
N. Mutsukura, M. Ohuchi, S. Satoh, Y. Machi. Thin Sol. Films, 109, 47 (1983)
J. Ling-Fai Wang, C.N. Krishnan, J.L. Margrave. J. Molecul. Spectr., 48, 346 (1973)
V. Paillard, P. Puech, M.A. Laguna, R. Carles, B. Kohn, F. Huisken. J. Appl. Phys., 86, 1921 (1999)
M.H. Brodsky. In: Light Scattering in Solids I, ed. by M. Cardona (Berlin, Springer-Verlag, 1983) p. 210
D. Kovalev, H. Heckler, G. Polissi, F. Koch. Phys. Status Solidi B, 215, 871 (1999)
L.T. Canham. J. Phys. Chem. Sol., 47, 363 (1986)
S.M. Hu. J. Appl. Phys., 51, 5945 (1980)
A.A. Langford, M.L. Fleet, A.J. Nelson, S.E. Asher, J.P. Goral, A. Mason. J. Appl. Phys., 65, 5154 (1989)
A.A. Langford, B.P. Nelson, M.L. Fleet, R.S. Crandall. Phys. Rev. B, 42, 7245 (1990).