Методом нестационарной емкостной спектроскопии (DLTS) исследованы p-n-переходы, изготовленные имплантацией бора в эпитаксиальные пленки 4H-SiC n-типа проводимости с концентрацией доноров (8-9)· 1014 см-3. Обнаружен "аномальный" по знаку сигнал DLTS, который связывается с перезарядкой глубоких компенсирующих "борных" центров в n-области вблизи металлургической границы p-n-перехода.
И.В. Грехов, П.А. Иванов, Н.Д. Ильинская, О.И. Коньков, А.С. Потапов, Т.П. Самсонова. ФТП, 42 (2), 211 (2008)
П.А. Иванов, И.В. Грехов, А.С. Потапов, Т.П. Самсонова. ФТП, 42 (7), 878 (2008)
П.А. Иванов, И.В. Грехов, Н.Д. Ильинская, Т.П. Самсонова, А.С. Потапов. ФТП, 43 (4), 527 (2009)
П.А. Иванов, И.В. Грехов, А.С. Потапов, Н.Д. Ильинская, Т.П. Самсонова, О.И. Коньков. ФТП, 43 (9), 1249 (2009)
Е.Н. Агафонов, У.А. Аминов, А.Н. Георгобиани, Л.С. Лепнев. ФТП, 35 (1), 48 (2001)
М.Ю. Барабаненков, А.В. Леонов, В.Н. Мордкович, Н.М. Омельяновская. ФТП, 32 (5), 523 (1998)
M. Gong, C.V. Reddy, C.D. Beling, S. Fung, G. Brauer, H. Wirth, W. Skorupa. Appl. Phys. Lett., 72 (21), 2739 (1998)
S.W. Johnston, J.A.M. AbuShama, R. Noufi. 2005 MRS Spring Meeting Proc. (2005) v. 862-- 884, F5.35
I. Thurzo, F. Dubecky. Phys. Status Solidi A, 89 (2), 693 (1985)
Е.В. Астрова, А.А. Лебедев, А.А. Лебедев. ФТП, 19 (8), 1382 (1985)
M.K. Linnarsson, M.S. Janson, A. Schoner, B.G. Svensson. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. (2003) v. 742, K 6.1.1
M.S. Janson, M.K. Linnarsson, A. Hallen, B.G. Svensson, H. Bleichner. Appl. Phys. Lett., 76 (11), 1434 (2000)
S.W. Huh, J.J. Sumakeris, A.Y. Polyakov, M. Skowronski, P.B. Klein, B.V. Shanabrook, M.J. O'Loughlin. Mater. Sci. Forum, 527-- 529, 493 (2006)