Вышедшие номера
О формировании волнового микрорельефа на поверхности полупроводника, распыляемого ионным пучком
Григорьев А.И.1
1Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, Ярославль, Россия
Email: grig@uniyar.ac.ru
Поступила в редакцию: 10 сентября 2009 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2010 г.

Предложена и проанализирована математическая модель формирования на облучаемой наклонно падающим пучком среднеэнергетичных ионов поверхности полупроводника упорядоченного волнового микрорельефа. Показано, что учет влияния сил флуктуационной природы (молекулярной компоненты расклинивающего давления) и электрического заряда, переносимого ионным пучком, позволяет согласовать предсказания предлагаемой теоретической модели с данными экспериментальных наблюдений.