Термическая стойкость фазового состава, структуры и напряженного состояния ионно-плазменных конденсатов системы Zr-Ti-Si-N
Береснев В.М.1, Соболь О.В.1, Погребняк А.Д.1, Турбин П.В.1, Литовченко С.В.1
1Сумской национальный аграрный университет, Сумы, Украина Харьковский национальный университет им. В.Н. Каразина, Харьков, Украина
Email: apogrebnjak@simp.suny.ua
Поступила в редакцию: 27 марта 2009 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2010 г.
Представлены результаты исследований влияния высокотемпературного отжига в вакууме и воздушной среде на фазовый состав, структуру и напряженное состояние ионно-плазменных конденсатов системы Zr-Ti-Si-N. Показано, что уменьшение поступления активных кислородных атомов при переходе от отжига на воздухе к отжигу в вакуумной атмосфере повышает стабильность фазового состава конденсата до 1000oC и выше. Изменение кристаллического фазового состава, в первую очередь, определяется кристаллизацией силиконитрида и образованием кристаллитов beta-Si3N4 с гексагональной решеткой, а также слабо выраженным процессом образования окисла ZrO2, не приводящим к развалу твердого раствора (Zr, Ti)N, а лишь увеличивающим удельный вклад в нем титановой составляющей.
- Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. // УФН. 2009. Т. 179. Вып. 1. С. 35--64
- Veprek S., Veprek-Heijmam M.G.J., Karvankova P., Prochazka J. // Thin Solid Films. 2005. Vol. 476. P. 1--25
- Азаренков Н.А., Береснев В.М., Погребняк А.Д. Структура и свойства защитных покрытий и модицифицированных слоев материалов. Харьков: Изд-во ХНУ, 2007. 565 с
- Nanostructured Coating // Ed. by A. Gavaleiro, J.T. De Hosson. Berlin: Springer-Verlag, 2006. 340 p
- Решетняк Е.Н., Стрельницкий В.Е. // Харьковская нанотехнологическая ассамблея. Харьков, 2007. Т. 1. С. 6--16
- Барвинок В.А. Управление напряженным состоянием и свойства плазменных покрытий. М.: Машиностроение, 1990. 384 с.
- Hoang N.H., McKenzie D.R., McFall W.D., Yin Y. // J. Appl. Phys. 1996. Vol. 80. N 11. P. 6279--6285
- Kelly P.J., Arnell R.D. // J. Vacuum. 2000. Vol. 56. P. 159--172
- Matsue T., Hanabusa T., Miki Y. // Thin Solid Films. 1999. Vol. 343--344. P. 257--260
- Головин Ю.И. Введение в нанотехнику. М.: Машиностроение. 2007. 496 с
- Вишняков Я.Д. Современные методы исследования структуры деформированных кристаллов. М.: Металлургия. 1975. 480 с.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук