Получение высококачественных пленок на основе манганита на усовершенствованной магнетронной приставке ВУП-5М
Николаенко Ю.М.1, Мухин А.Б1, Чайка В.А.1, Бурховецкий В.В.1
1Донецкий физико-технический институт им. А.А. Галкина НАН Украины, Донецк, Украина
Email: nik@kinetic.ac.donetsk.ua
Поступила в редакцию: 26 ноября 2009 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2010 г.
Описана конструкция дополнительного теплового и электрического экрана, предназначенного для повышения качества получаемых пленок в отношении кристаллической структуры и равной толщины. Применение экрана позволяет использовать более мощный источник тепла для нагрева подложки и оптимизировать процесс эпитаксиального роста пленок. Экран одновременно выполняет функцию дополнительного анода, который изменяет динамику плазмы в рабочем пространстве и гомогенизирует радиальное распределение плотности потока нейтральных частиц от мишени к подложке.
- <http://www.selmi.sumy.ua.>
- Варюхин В.Н., Медведев Ю.В., Николаенко Ю.М., Мухин А.Б., Беляев Б.В., Грицких В.А., Жихарев И.В., Кара-Мурза С.В., Корчикова Н.В., Тихий А.А. // Письма в ЖТФ. 2009. Т. 35. Вып. 20. С. 19--26
- Каштанов П.В., Смирнов Б.М., Хипплер Р. // УФН. 2007. Т. 177. N 5. C. 473--510
- Белявский В.И. // Соросовский образовательный журнал. 1998. N 10. C. 92--98
- Знаменский А.Г., Марченко В.А. // ЖТФ. 1998. Т. 68. Вып. 7. С. 24
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук