Вышедшие номера
Электрические и фотоэлектрические свойства анизотипных GaP/Si гетероструктур, полученных методом газофазной эпитаксии фосфида галлия
Евстропов В.В.1, Жиляев Ю.В.1, Назаров Н.1, Сергеев Д.В.1, Федоров Л.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 25 февраля 1993 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1993 г.

Методом газофазной эпитаксии в открытой хлоридной системе впервые созданы две анизотипные разновидности GaP/Si гетероструктур (n-GaP/p-Si, p-GaP/n-Si). Для получения GaP слоев использовались кремниевые подложки p- и n-типа проводимости (КЭФ и КДБ-001, ориентированные в плоскости (100), с разориентацией 4 ... 6o в направлении [110]). Оба типа GaP/Si гетероструктур имеют одинаковый излом на C-2U характеристике при 1.5 В. Этот излом вероятно обусловлен регулярной неровностью слоя объемного заряда, который вызван регулярной неровностью поверхности кремниевой подложки и соответственно гетерограницы, причем при напряжениях смещения U <= 1.5 В неровность слоя объемного заряда сглажена. Возможно также, что излом обусловлен присутствием переходного слоя. У обоих видов гетероструктур механизм протекания прямого и обратного тока при комнатных температурах носит термический характер, сменяясь туннельным характером при азотных температурах. Спектры фоточувствительности у обоих видов гетероструктур аналогичны, длинноволновый край соответствует области поглощения кремния, а коротковолновое крыло определяется толщиной GaP слоя.