Определение толщины эпитаксиальных слоев разной степени совершенства из интегральных коэффициентов рентгенодифракционных отражений
Кютт Р.Н.1, Хапачев Ю.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Санкт-Петербург Кабардино-Балкарский университет Нальчик
Поступила в редакцию: 19 февраля 1993 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1993 г.
С использованием двух- и трехкристального дифрактометров измерены интегральные коэффициенты для широкого набора рентгенодифракционных отражений от гетероэпитаксиальных систем GaAlSb/GaSb, GaSb/GaAs и GaAs/Si, характеризующихся разной степенью структурного совершенства. Из полученных данных определены толщины эпитаксиальных пленок. Обсуждаются вопросы применимости формул динамической и кинематической теорий дифракции для определения толщин эпитаксиальных слоев из абсолютных значений интегральных отражений пленки и подложки. Предлагаются варианты выбора оптимальных дифракционных условий для этой цели.
- Fukuhara A., Takano J. Acta Cryst. A. 1977. Vol. 33. P. 137--143
- Hill M.J., Tanner B.K., Halliwel M.A.G., Lyons M.H. J. Appl. Cryst. 1985. Vol. 18. P. 446--451
- Tapfer L., Ploog K. Phys. Rev. B. 1986. Vol. 33. P. 5565--5574
- Macrander A.T., Lau S., Strege K., Chu S.N.G. Appl. Phys. Lett. 1988. Vol. 52. P. 1985--1987
- Bensoussan S., Malgrange C., Savage-Simkin M. J. Appl. Cryst. 1987. Vol. 20. P. 230--234
- Bassignana J.C., Tan C.C. J. Appl. Cryst. 1989. Vol. 22. P. 269--276
- Chauchuri J., Shah S., Harbison J.P. J. Appl. Phys. 1989. Vol. 66. P. 5373--5375
- Max von Laue. Rontgenstrahlinterferenzen. Frankfurt; M., 1960. P. 475
- De Marco J.J., Weiss R.J. Acta Cryst. 1965. Vol. 19. P. 68--75
- Пинскер З.Г. Динамическое рассеяние рентгеновских лучей в идеальных кристаллах. М.: Наука, 1974. 368 с
- Weiss R.J. Acta Cryst. 1965. Vol. 19. P. 824
- Iida A., Kohrak K. Phys. Stat. Sol. (a). 1979. Vol. 51. P. 533--542
- Cromer D.T., Mann J.B. Acta Cryst. A. 1968. Vol. 24. P. 321--327
- Cromer D.T., Liberman D. J. Chem. Phys. 1970. Vol. 53. P. 1891--1897
- Кютт Р.Н., Аргунова Т.С. ФТТ. 1989. Т. 31. Вып. 1. С. 40--45
- Batterman B.W. J. Appl. Phys. 1959. Vol. 30. P. 508--513
- Кютт Р.Н. ФТТ. 1989. Т. 31. Вып. 8. С. 270--272
- Аргунова Т.С., Кютт Р.Н., Матвеев Б.А. и др. ФТТ. 1990. Т. 32. Вып. 11. С. 3355--3360
- Кютт Р.Н., Шольц Р., Рувимов С.С. и др. ФТТ. 1993. Т. 35. Вып. 3. С. 724--735
- Кютт Р.Н. ФТТ. 1978. Т. 20. Вып. 2. С. 395--398
- Afanasew A.M., Kovalchuk M.V., Kovev E.K., Kohn V.G. Phys. Stat. Sol. (a). 1977. Vol. 42. P. 415--420
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук