Эффект переключения величины туннельного зазора СТМ с диэлектрической пленкой в эмиссионном режиме
Мордвинцев В.М.1, Левин В.Л.1
1Ярославский научный центр по фундаментальным проблемам вычислительной техники Институт микроэлектроники
Выставление онлайн: 19 марта 1994 г.
Предложена модель поведения туннельного зазора сканирующего туннельного микроскопа (СТМ), работающего в эмиссионном режиме, при наличии на образце относительно толстой диэлектрической пленки. Модель, в частности, предсказывает эффект переключения величины туннельного зазора СТМ, управляемый напряжением на зонде. Соответствующее критическое напряжение зависит от толщины диэлектрической пленки. Наличие эффекта переключения подтверждено экспериментально с помощью СТМ, работающего на воздухе, для диэлетрического слоя адсорбата, существующего на металлической поверхности в естественных условиях. Сравнение экспериментальных данных с моделью позволило получить оценки физических величин, характеризующих состояние туннельного зазора, в том числе толщину и относительную диэлектрическую проницаемость адсорбированного слоя. Показана возможность разработки методики диагностирования с помощью СТМ, работающего в эмиссионном режиме, адсорбированных слоев, находящихся в равновесии с газовой фазой при высоких давлениях.
- Binnig G., Rohrer H., Gerber Ch., Weibel E. Phys. Rev. Lett. 1982. Vol. 49. N 1. P. 57--61
- Маслова Н.С., Моисеев Ю.Н., Панов В.И. и др. ЖЭТФ. 1992. Т. 102. Вып. 3 (9). С. 925--933
- Dobisz E.A., Marrian C.R.K. Appl. Phys. Lett.1991. Vol. 58. N 22. P. 2526--2528
- McCord M.A., Pease R.F.W. J. Vac. Sci. Technol. 1988. Vol. B6. N 1. P. 293--296
- Kuk Y., Sulverman P. J. Rev. Sci. Instrum. 1989. Vol. 60. N 2. P. 165--180
- Симмонс Дж.Г. Туннельные явления в твердых телах. М.: Мир, 1973. С. 131--142
- Comez--Herrero J., Comez--Rodriguez J.M., Ricardo Garcia, Baro A.M. J. Vac. Sci. Technol. 1990. Vol. A8. P. 445--449
- Левин В.Л., Макаров Е.Б., Мордвинцев В.М. Тез. докл. III Всесоюз. семинара "Микролитография". Черноголовка, 1990. С. 225--226
- Касуэлл Х.Л. Физика тонких пленок. Т. 1. М.: Мир. 1967. С. 13--90
- Волков А.Б., Неволин В.К. Письма в ЖТФ. 1992. Т. 18. Вып. 5. С. 1--3
- Ермаков Г.А., Фокин А.Г., Шермергор Т.Д. ЖТФ. 1974. Т. 44. Вып. 2. С. 249--258
- Левин В.Л., Неволин В.К., Шермергор Т.Д. ЖТФ. 1979. Т. 49. Вып. 3. С. 519--526
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук