Вышедшие номера
Эффект переключения величины туннельного зазора СТМ с диэлектрической пленкой в эмиссионном режиме
Мордвинцев В.М.1, Левин В.Л.1
1Ярославский научный центр по фундаментальным проблемам вычислительной техники Институт микроэлектроники
Поступила в редакцию: 15 июня 1993 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1994 г.

Предложена модель поведения туннельного зазора сканирующего туннельного микроскопа (СТМ), работающего в эмиссионном режиме, при наличии на образце относительно толстой диэлектрической пленки. Модель, в частности, предсказывает эффект переключения величины туннельного зазора СТМ, управляемый напряжением на зонде. Соответствующее критическое напряжение зависит от толщины диэлектрической пленки. Наличие эффекта переключения подтверждено экспериментально с помощью СТМ, работающего на воздухе, для диэлетрического слоя адсорбата, существующего на металлической поверхности в естественных условиях. Сравнение экспериментальных данных с моделью позволило получить оценки физических величин, характеризующих состояние туннельного зазора, в том числе толщину и относительную диэлектрическую проницаемость адсорбированного слоя. Показана возможность разработки методики диагностирования с помощью СТМ, работающего в эмиссионном режиме, адсорбированных слоев, находящихся в равновесии с газовой фазой при высоких давлениях.