Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 1994, выпуск 4 » Статья стр. 144
<<<>>>
Нанометровая модификация многослойной структуры с помощью туннельного микроскопа
Ахсахалян А.Д.1, Гапонов С.В.1, Дорофеев И.А.1, Пестерев С.В.1, Полушкин Н.И.1, Салащенко Н.Н.1, Токман М.И.1
1Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 28 июля 1993 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1994 г.
PDF версия
С использованием сканирующего туннельного микроскопа осуществлена локальная модификация многослойных структур металл-углерод. Поперечный размер модифицированной поверхности 5-100 нм. Показана возможность конструирования геометрических объектов нанометрового масштаба заданной формы путем позиционирования иглой микроскопа. Предложен механизм модификации, связанный с инициированием твердофазной диффузии в многослойной структуре при протекании тока в системе игла-образец.
  1. Mamin H.J., Chiang S., Birk J. Vac. Sci. Techn. B. 1991. Vol. 9. N 2. P. 1379--1383
  2. Ehrichs E.E., Yoon S., de Losanne A.L. Appl. Phys. Lett. 1987. Vol. 51. P. 147--249
  3. Rigger J. et al. J. Vac. Sci. Tech. B. 1991. Vol. 9. N 2. P. 1384--1388
  4. Hurtmann E., Behm R.J., Krotz G. et al. Appl. Phys. Lett. 1991. Vol. 59. N 17. P. 2136--2139
  5. Nagahara L.A., Thandaf T., Lindsay S.M. J. Vac. Sci. Techn. B. 1991. Vol. 9. N 2. P. 1067--1071
  6. Гурин В.С. Письма в ЖТФ. 1992. Т. 18. Вып. 11. С. 54--58
  7. Eighler D.M., Schweizer E.K. Nature. 1990. Vol. 344. P. 524--526
  8. Битюрин Ю.А., Волгунов Д.Г., Гудков А.А. и др. Препринт ИПФ АН СССР. N 197. Горький, 1988
  9. Волгунов Д.Г., Дорофеев И.А., Миронов В.Л., Платонов Ю.Я. Поверхность. Физика, Химия, Механика. 1993. N 5. С. 43--48
  10. Akhsakhalyan A.D., Fraerman A.A., Polushkin et al. Thin Sol. Films. 1991. Vol. 203. P. 317--326
  11. Bardeen J. Phys. Rev. Lett. 1961. Vol. 6. N 2. P. 57--59
  12. Маслова Н.С., Панов В.И. УФН.1989. Т. 157. N 1. С. 186--195
  13. Foldman G. J. Appl. Phys. 1963. Vol. 34. N 6. P. 1793--1803
  14. Geppert D.V. J. Appl. Phys. 1963. Vol. 34. N 3. P. 490--493
  15. Васильев С.И., Моисеев Ю.Н., Орешкин А.И. и др. Письма в ЖЭТФ. 1993. Т. 57. Вып. 5. С. 309--312
  16. Ven Kempen H., van de Walle G.F.A. IBM. J. Res. Develope. 1986. Vol. 30. N 5. P. 37
  17. Трусов Л.И., Холмянский В.А. Островковые металлические пленки. М.: Металлургия, 1973. 321 с
  18. Simmons J.G. J. Appl. Phys. 1964. Vol. 35. N 8. P. 2472--2481
  19. Гапонов В.И. Электроника. Ч. I. М.: Физматгиз, 1960. 516 с
  20. Persson B.N.J., Demuth J.E. Sol. Commun. 1986. Vol. 57. N 9. P. 769--772
  21. Balaram Das, Mahanty J. Phys. Rev. B. 1987. Vol. 36. N 2. P. 898--903
  22. Akhsakhalyan A.D., Fraerman A.A., Platonov Yu.Ya. Thin Solid Films. 1992. Vol. 207. P. 19--23

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme