Предпринята попытка оценить нетермическое влияние лазерного излучения среднего и ближнего ИК диапазонов на формирование оксидной пленки на поверхности кремния в процессе его термооксидирования в атмосфере осушенного кислорода. Показано, что измерение коэффициента отражения лазерного излучения оптического диапазона in situ в процессе оксидирования позволяет экспериментально обнаружить нетермическую часть лазерного воздействия на формирование пленки на кремнии. Показано также, что изменение характера влияния ИК лазерного воздействия с ростом толщины оксида с ускоряющего на тормозящее лежит в области толщин оксидов, где наблюдаемый оптический эффект меняет знак.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.